[发明专利]一种卷绕镀膜设备

说明书

本发明公开了一种卷绕镀膜设备，主要包括真空室、蒸发源、镀膜主辊、移动式挡板系统、控制系统和真空系统；蒸发源设置在镀膜主辊的下方，镀膜主辊内部通有冷却液，柔性基膜绕经镀膜主辊时进行蒸发镀膜；移动式挡板系统位于真空室内；移动式挡板系统包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；在真空室内为移动挡板设置有镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位和清洗相位；移动挡板在竖直移动机构和横向移动机构的作用下可分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位；清洗模块位于移动挡板的下方，当移动挡板处于清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的在线清洗。

技术领域

本发明属于卷绕真空镀膜技术领域，特别涉及一种卷绕镀膜设备。

背景技术

在卷绕蒸发镀膜生产过程中，为防止蒸发过程中产生的高温及蒸发材料对处于镀膜主辊冷却保护范围之外的柔性薄膜造成损伤，通常在卷绕镀膜设备中设置挡板将蒸发镀膜区域和其它区域分隔开。然而，在真空镀膜工艺过程中，当启动蒸发源在柔性基膜上进行蒸发镀膜时，挡板上也同样会附着一定厚度的蒸发材料，当挡板上的附着的蒸发材料达到一定程度时就会因为内应力或冷热冲击发生脱落，造成对镀膜环境的污染，进而影响薄膜产品的质量。

为避免上述问题，一般需要对卷绕镀膜设备中的挡板进行定期清洗，或为挡板设置衬板，对衬板进行清洗。目前，在应用较多的单室卷绕镀膜机中通常采用固定挡板的设计或为固定挡板设置衬板，进行挡板或衬板清洗时，通常需要将其从设备中拆下来，采用喷砂、人工打磨或高压气体吹扫等方式在卷绕镀膜外部实施清洗，这种清洗方式费时费力，还会存在清洗不彻底、对挡板或衬板产生二次污染、损坏挡板或衬板表面造成夹气影响真空度等问题，对镀膜生产的稳定进行带来隐患。特别是在用于汽车动力电池电极层生产的高端多室卷绕真空镀膜设备中，传统的清洗方法会增加镀膜真空区域及镀膜核心部件暴露大气、受大气污染的机会，影响薄膜产品品质稳定性，且不利于高端智能化卷绕镀膜设备高度自动化生产的实施。

发明内容

为解决上述问题，本发明提出一种卷绕镀膜设备，该设备中的移动式挡板系统通过使移动挡板在不同相位之间的移动，在控制系统的控制下实现镀膜遮挡、蒸发源屏蔽及在线清洗等不同功能的切换，使卷绕镀膜设备结构更加紧凑，另一方面，也可实现卷绕镀膜设备日常维护的智能化和自动化，实现该设备工作的高度自动化。该设备中对移动挡板实施在真空环境下的在线清洗，清洗效果好，清洗周期短，无二次污染，清洗成本低，更重要的是可以避免卷绕镀膜设备中的镀膜真空区域及镀膜核心部件暴露大气、受大气污染，保证了薄膜产品品质稳定性。

本发明提供一种卷绕镀膜设备，主要包括真空室、蒸发源、镀膜主辊、移动式挡板系统、控制系统和真空系统；蒸发源设置在镀膜主辊的下方，镀膜主辊内部通有冷却液，柔性基膜绕经镀膜主辊时进行蒸发镀膜；移动式挡板系统位于真空室内；移动式挡板系统包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；在真空室内为移动挡板设置有镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位和清洗相位；移动挡板在控制系统的控制下在竖直移动机构和横向移动机构的作用下可分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位；清洗模块位于移动挡板的下方，当移动挡板处于清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的在真空镀膜中形成的附着物进行真空环境下的在线清洗。蒸发源为抽屉式结构，控制系统可控制将蒸发源拉出或推回真空室。

竖直移动机构包括导杆和竖直驱动电机，移动挡板安装固定在可沿导杆滑动的竖直滑块上，竖直驱动电机可驱动移动挡板做竖直方向上的移动；横向移动机构包括滑轨和横向驱动电机，导杆安装固定在可沿滑轨滑动的横向滑块上，横向驱动电机可通过驱动导杆带动移动挡板做横向移动。移动挡板在竖直方向上的移动和横向移动均在卷绕镀膜设备的控制系统的控制下进行。

移动挡板为两块，分别位于镀膜主辊的两侧；当蒸发源停止工作时，由控制系统先控制一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至蒸发源屏蔽相位对尚有余热的蒸发源进行屏蔽覆盖，然后控制系统再控制另一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至清洗相位进行清洗；待蒸发源冷却后，控制系统再控制处于蒸发源屏蔽相位的移动挡板移动至清洗相位进行清洗。