[发明专利]一种等离子组合精密3D光栅表面清洁装置

权利要求书

1.一种等离子组合精密3D光栅表面清洁装置，包括移动吸附底座，导轨，由净化空气输出单元、等离子Plasma除尘单元、吸气除尘单元组成的清洁系统，还包括，固设于机械手上面的吸取工件机构，精密视差屏障3D光栅等，实现对精密视差屏障3D光栅的表面非接触清洁功能，以保障视差屏障3D光栅裸眼立体显示效果。

2.如权利要求1所述的一种等离子组合精密光栅表面清洁装置，其特征在于，所述精密视差屏障3D光栅上方装设有净化空气输出单元、等离子Plasma除尘单元、吸气除尘单元组成的清洁系统，净化空气输出单元吹出净化空气的气流，清洁视差屏障3D光栅表面的灰尘、等离子Plasma除尘单元发出星雨状的高能离子与介质内分子发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子(原子)的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除、后面的吸气除尘单元吸走除掉的尘埃垃圾，实现对视差屏障3D光栅表面的清洁。