[发明专利]一种铌靶材与铜背板的钎焊方法

权利要求书

1.一种铌靶材与铜背板的钎焊方法，其特征在于，所述的钎焊方法包括：

在铌靶材的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材与铜背板，再将浸润处理后的铌靶材的焊接面与铜背板进行焊接。

2.根据权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，所述的钎焊方法包括以下步骤：

(Ⅰ)将沙粒喷射至铌靶材的焊接面形成粗糙的喷砂表面；

(Ⅱ)采用酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材进行活化，随后置于镀镍溶液中在喷砂表面形成镀镍层；

(Ⅲ)分别将铜背板与铌靶材置于加热平台进行加热，同时将钎料覆盖在铜背板和铌靶材表面，待钎料融化后浸润铜背板和铌靶材，分别在铜背板和铌靶材的焊接面一侧的表面形成钎料层；

(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板的钎料层表面放置铜丝，并将铌靶材置于铜丝上，施压，再冷却完成钎焊。

3.根据权利要求2所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅰ)中，所述的沙粒为46#白刚玉；

优选地，所述喷射的压力为0.4～0.45MPa；

优选地，所述喷砂表面的粗糙度为4～8μm。

4.根据权利要求2或3所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅱ)中，所述的酸液为混合酸；

优选地，所述的混合酸包括氢氟酸和硝酸的混合酸液；

优选地，所述的混合酸液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.8～1.2)：(2～4)：(3～5)；

优选地，所述活化的时间为2～3min。

5.根据权利要求2-4任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅱ)中，所述置于镀镍溶液中的时间为30～50min；

优选地，所述的镀镍溶液的类型包括硫酸盐型、氯化物型、氨基磺酸盐型、柠檬酸盐型或氨硼酸盐型中的任一种或至少两种的组合。

6.根据权利要求2-5任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅱ)中还包括活化后对铌靶材进行洗涤；

优选地，所述的洗涤采用纯水进行清洗。

7.根据权利要求2-6任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅲ)中，所述钎料加热后的温度为160～190℃；

优选地，所述的钎料包括铟焊料；

优选地，所述的浸润为超声波浸润；

优选地，所述超声波的频率20～50kHz；

优选地，所述超声波的振动幅度5～50μm；

优选地，所述铌靶材的钎料层一侧面向铜丝放置。

8.根据权利要求2-7任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅲ)中，加热前沿铜背板非焊接面的侧面粘贴一圈胶带；

优选地，所述的胶带高出钎料层1～2mm；

优选地，所述的胶带为耐温胶带。

9.根据权利要求2-8任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅳ)中，所述铜丝的长度小于焊接面的长度；

优选地，所述铜丝的直径为0.2～0.5mm。

10.根据权利要求2-9任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(Ⅳ)中，所述的施压通过在铌靶材表面放置压块进行；

优选地，所述压块的重量为30～60kg；

优选地，步骤(Ⅳ)中，所述的铜背板与加热平台一同冷却；

优选地，所述冷却后除去铜背板侧面的胶带。