[发明专利]一种提升靶材利用率的方法在审
| 申请号： | 202110963009.2 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113774338A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 陈加柱;龚文广;罗勇;杨红军;陈明辉;张世洪 | 申请（专利权）人： | 厦门建霖健康家居股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郭福利 |
| 地址： | 361021 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提升 利用率 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提升靶材利用率的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将废旧靶材加工至所需要尺寸；
(2)将加工后的废旧靶材套设于特殊材料辅助垫高件的一端；
(3)将所述特殊材料辅助垫高件的另一端连接至靶材座，形成新的真空镀膜靶材；
(4)对新的真空镀膜靶材进行导热性以及导电性测试。
2.一种如权利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述步骤(1)中所需要尺寸为与特殊材料辅助垫高件以及新的靶材座相同的尺寸。
3.一种如权利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述步骤(2)中特殊材料辅助垫高件所使用的材料为紫铜。
4.一种如权利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述步骤(3)中的靶材座的材料为紫铜。
5.一种如权利要求1所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述特殊材料辅助垫高件一端形成内部凸台与废旧靶材相连接，另一端形成外部凸台与新的靶材座相连接。
6.一种如权利要求5所述的提升靶材利用率的方法，其特征在于，所述特殊材料辅助垫高件与废旧靶材和新的靶材座是通过螺纹连接的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门建霖健康家居股份有限公司，未经厦门建霖健康家居股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110963009.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种动力电池包信号采集线路板的制造工艺
- 下一篇：一种带控制电路扫地机系统
- 同类专利
- 专利分类
