[发明专利]一种提升靶材利用率的方法

说明书

本发明提供了一种提升靶材利用率的方法，包括如下步骤：(1)将废旧靶材加工至所需要尺寸；(2)将加工后的废旧靶材套设于特殊材料辅助垫高件的一端；(3)将所述特殊材料辅助垫高件的另一端连接至靶材座，形成新的真空镀膜靶材；(4)对新的真空镀膜靶材进行导热性以及导电性测试。本发明提供了一种提升靶材利用率的方法，利用废旧靶材、特殊材料靶材辅助垫高件以及靶材座，实现废旧靶材的重复利用，从而提高靶材的利用率，能够有效地提高靶材利用率，降低采购靶材频次，减少因更换靶材而导致的镀膜成本。

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种提升靶材利用率的方法。

背景技术

目前，在真空镀膜行业中，基本都采用的圆形靶材，在镀膜过程中，靶材与工件之间的距离尺寸有严格的要求，在新靶材在使用一段时间后，由于耗损、变形等现象，导致与需要镀膜的工件之间的距离偏离的所要求的范围，这时就会出现镀膜产品异常，而处理这个异常方式，基本都是换掉靶材，装上新靶材，然后再生产，而换下来的靶材的使用率只有25％左右，造成资源浪费以及靶材成本升高，再者，靶材与靶材座之间，对导电性以及导热性有严格要求，利用普通材料及常规配合进行替代无法达到镀膜的要求。

发明内容

基于背景技术存在的问题，本发明提出了一种提升靶材利用率的方法。

本发明采用了如下方案：一种提升靶材利用率的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将废旧靶材加工至所需要尺寸；

(2)将加工后的废旧靶材套设于特殊材料辅助垫高件的一端；

(3)将所述特殊材料辅助垫高件的另一端连接至靶材座，形成新的真空镀膜靶材；

(4)对新的真空镀膜靶材进行导热性以及导电性测试。

优选地，所述步骤(1)中所需要尺寸为与特殊材料辅助垫高件以及新的靶材座相同的尺寸。

优选地，所述步骤(2)中特殊材料辅助垫高件所使用的材料为紫铜。

优选地，所述步骤(3)中的靶材座的材料为紫铜。

优选地，所述特殊材料辅助垫高件一端形成内部凸台与废旧靶材相连接，另一端形成外部凸台与新的靶材座相连接。

优选地，所述特殊材料辅助垫高件与废旧靶材和新的靶材座是通过螺纹连接的。

通过采用上述技术方案，本发明可以取得以下技术效果：本发明提供了一种提升靶材利用率的方法，利用废旧靶材、特殊材料靶材辅助垫高件以及靶材座，实现废旧靶材的重复利用，从而提高靶材的利用率，能够有效地提高靶材利用率，降低采购靶材频次，减少因更换靶材而导致的镀膜成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明的示意图。

图2是图1的A-A处的截面图。

图中：1-PVD靶材座辅助垫高件；2-废旧PVD靶材；3-PVD靶材座。

具体实施方式