[发明专利]一种液氩系统不凝气过滤回收工艺

权利要求书

1.一种液氩系统不凝气过滤回收工艺，其特征在于：所述液氩回收工艺由液氩储存罐、氩气回收器和液氮冷却器构成，所述液氩回收工艺步骤如下：

S1：将高压液氩储存罐和低压液氩储存罐排气口排放的液氩进行收集，并集中传输至氩气回收器中；

S2：氩气回收器与液氮冷却器连接，降低氩气回收器内部的温度，使得氩气回收器中的氩气冷却液化；

S3：氩气回收器中的氩气液化成氩气后，通过输送管将液氩回流至高压液氩储存罐中。

2.根据权利要求1所述的一种液氩系统不凝气过滤回收工艺，其特征在于：基于液氩回收工艺的S1中：所述高压液氩储存罐和低压液压储存罐的排气口连接管路相连通，并连接至氩气回收器中；

氩气输送管道上安装单向节流阀，用于避免氩气和液氩的产生回流；

所述高压液氩储存罐与低压液氩储存罐的排气口均位于高压液氩储存罐与低压液氩储存罐的上端顶部。

3.根据权利要求1所述的一种液氩系统不凝气过滤回收工艺，其特征在于：基于液氩回收工艺的S2中：所述液氮冷却器的两端均与氮气生产系统两端进行连接，所述液氮冷却器的进管流通液氮，所述液氮冷却器的出管流通氮气；

所述液氮冷却器位于氩气回收器上端内部，液氮流通至液氮冷却器中，降低氩气回收器内部温度，所述氩气回收器中的氩气与液氮冷却器接触，氩气降温产生液化，液氩沉积于氩气回收器底端内部；

所述液氮冷却器中与氩气产生热交换后，液氮冷却器中的液氮产生气化，气化的液氮产生氮气，氮气通过液氮冷却器的出管回流至生产系统中，用于对氮气进行再次降温液化，并将液氮回流至液氮冷却器的进管中。

4.根据权利要求1所述的一种液氩系统不凝气过滤回收工艺，其特征在于：基于液氩回收工艺的S3中：所述氩气回收器中的氩气与液氮冷却器接触后，氩气与液氮接触产生热交换，使得氩气降温液化，形成液氩，沉积与氩气回收器底部，并通过回流管回流至高压液氩储存罐中。