[发明专利]功率器件的检测方法

权利要求书

1.一种功率器件的检测方法，其特征在于，包括：

对待测功率器件进行扫频处理；

获取所述待测功率器件各端子的等效阻抗参数；

根据预设的判断规则，确定所述待测功率器件的损伤情况；

其中，所述等效阻抗参数包括：等效电阻、等效电容、等效电感；

所述根据预设的判断规则，确定所述待测功率器件的损伤情况，具体包括：

根据预设的导通电阻和等效电阻的拟合曲线，确定所述待测功率器件的老化程度；

根据所述待测功率器件的等效电容变化率和预设阈值的比较结果，确定所述待测功率器件的芯片损伤情况；

根据预设的等效电感变化率和键合线损伤数量的拟合曲线，确定所述待测功率器件的键合线损伤情况；

所述获取所述待测功率器件各端子的等效阻抗参数，具体包括：

基于连续扫频信号的频率为谐振频率，获取所述待测功率器件各端子的等效电阻；

基于所述连续扫频信号的频率在第一预设范围内，获取所述待测功率器件各端子的等效电容；

基于所述连续扫频信号的频率在第二预设范围内，获取所述待测功率器件各端子的等效电感；

所述第一预设范围为0-100KHz，所述第二预设范围为200-350MHz。

2.根据权利要求1所述的功率器件的检测方法，其特征在于，所述对待测功率器件进行扫频处理，具体包括：

将所述待测功率器件固定在阻抗匹配测试夹具上；

将所述阻抗匹配测试夹具与矢量网络分析仪电连接；

利用所述矢量网络分析仪对所述阻抗匹配测试夹具施加连续扫频信号。

3.根据权利要求1所述的功率器件的检测方法，其特征在于，所述预设的导通电阻和等效电阻的拟合曲线通过以下方式得到：

对功率器件施加饱和开通电压，持续对所述功率器件进行老化试验；

定时获取所述功率器件的等效电阻和对应的导通电阻；

对所述等效电阻和所述导通电阻进行二项式拟合，得到所述预设的导通电阻和等效电阻的拟合曲线。

4.根据权利要求1所述的功率器件的检测方法，其特征在于，所述预设的等效电感变化率和键合线损伤数量的拟合曲线通过以下方式得到：

对功率器件开封，逐根损伤所述功率器件的键合线；

获取所述功率器件的键合线损伤数量和对应的等效电感；

通过所述功率器件的等效电感和标准功率器件的等效电感确定所述功率器件的等效电感变化率；

对所述等效电感变化率和所述键合线损伤数量进行拟合，得到所述预设的等效电感变化率和键合线损伤数量的拟合曲线。

5.根据权利要求1所述的功率器件的检测方法，其特征在于，所述根据预设的导通电阻和等效电阻的拟合曲线，确定所述待测功率器件的老化程度，具体包括：

根据所述待测功率器件的等效电阻和预设的导通电阻和等效电阻的拟合曲线，获取所述待测功率器件的导通电阻；

通过所述待测功率器件的导通电阻和标准功率器件的导通电阻，确定所述待测功率器件的老化程度。

6.根据权利要求1所述的功率器件的检测方法，其特征在于，所述根据所述待测功率器件的等效电容变化率和预设阈值的比较结果，确定所述待测功率器件的芯片损伤情况，具体包括：

通过所述待测功率器件的等效电容和标准功率器件的等效电容，确定所述待测功率器件的等效电容变化率；

若所述等效电容变化率大于所述预设阈值，判定所述待测功率器件的芯片完全损伤，若所述等效电容变化率小于所述预设阈值，判定所述待测功率器件的芯片未完全损伤。

7.根据权利要求1所述的功率器件的检测方法，其特征在于，所述根据预设的等效电感变化率和键合线损伤数量的拟合曲线，确定所述待测功率器件的键合线损伤情况，具体包括：

通过所述待测功率器件的等效电感和标准功率器件的等效电感，得到所述待测功率器件的等效电感变化率；

根据所述预设的等效电感变化率和键合线损伤数量的拟合曲线，确定所述待测功率器件的键合线的损伤情况。