[发明专利]功率器件的检测方法

说明书

本发明提供了一种功率器件的检测方法，包括：对待测功率器件进行扫频处理；获取待测功率器件各端子的等效阻抗参数；根据预设的判断规则，确定待测功率器件的损伤情况；其中，等效阻抗参数包括：等效电阻、等效电容、等效电感。本发明所提供的功率器件的检测方法，通过扫频处理获取待测功率各端子的等效阻抗参数后，可直接通过预设的判断规则对待测功率器件各方面的损伤情况进行有效准确的判定，无需对功率器件进行带电导通工作，无需设计专门的测试电路或测试系统，无需对功率器件进行开封，满足了可靠性检测、快速性检测、通用性检测、无损性检测的需求。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种功率器件的检测方法。

背景技术

功率器件是电子电力技术的核心，随着电子产业飞速发展，功率器件的应用范围也越来越广泛。在实际使用中，功率器件长期运行在严酷的条件下，不停地经受电-热-振动的冲击，随着使用时间的增长，功率器件的老化和损伤情况日益严重。研究表明，在电力系统故障中，约38％的故障源于功率器件的老化和损伤，因此，功率器件的检测方法就变得尤为重要。

传统的功率器件检测方法分为机械、电学、形貌检测三大类，然而，无论是哪一种检测方法，都存在着一定的弊端。

机械检测方法主要针对功率器件键合线的检测，不适用于功率器件的老化检测和芯片损伤检测。在机械检测的过程中，可能会给功率器件引入微损伤，且对于多根并联的键合线无法进行有效区别。

电学检测方法是基于功率器件的内部特征参数进行检测的，检测结果严重依赖功率器件的芯片温度，难以进行定量分析，且特征参数对于键合线损伤无法进行直观的估算，且在检测过程中，需要在功率器件内部设置高灵敏度的传感器，或者需要设计专用的参数检测电路或测试夹具，对检测人员的知识水平要求较高，不便于普遍推广。

形貌检测方法属于物理结构检测，在检测时往往需要对功率器件进行开封或做成特定的测试结构，测试方法复杂，测试设备昂贵，不适用于功率器件的快速可靠性检测。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明提出一种功率器件的检测方法。

有鉴于此，本发明的提供了一种功率器件的检测方法，包括：对待测功率器件进行扫频处理；获取待测功率器件各端子的等效阻抗参数；根据预设的判断规则，确定待测功率器件的损伤情况；其中，等效阻抗参数包括：等效电阻、等效电容、等效电感。

本发明所提供的功率器件的检测方法，首先对待测功率器件进行扫频处理，在扫频处理的同时获取不同频率下待测功率器件各端子的等效阻抗参数，然后再根据预设的判断规则，确定待测功率器件的损伤情况。其中，等效阻抗参数包括等效电阻、等效电容、等效电感。这样，本发明所提供的功率器件的检测方法可通过不同频率下功率器件的等效阻抗参数(等效电阻、等效电容、等效电感)的变化直接识别出待测功率器件各方面的损伤情况，通过不同的等效阻抗参数的变化对待测功率器件各方面的老化和损伤情况进行有效识别和分析，检测结果准确度较高，满足可靠性检测的需求。

并且，本发明所提供的功率器件的检测方法在对功率器件进行检测时，只需对待测功率器件进行扫频处理以获取功率器件各端子的等效阻抗参数(等效电阻、等效电容、等效电感)，进而可通过等效阻抗参数对功率器件的损伤情况进行判定。也就是说，本发明所提供的功率器件的检测方法，无需对功率器件进行带电导通工作，满足快速性检测的需求。

进一步地，本发明所提供的功率器件的检测方法可通过不同频率下功率器件的等效阻抗参数(等效电阻、等效电容、等效电感)的变化直接识别出待测功率器件各方面的损伤情况，无需针对不同类、不同型号的功率器件设计开发专用的测试电路或测试系统，对测试人员的知识水平要求较低，满足通用性检测的需求。