[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法

权利要求书

1.一种钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1、清洗透明导电玻璃(5)，然后将透明导电玻璃(5)在真空干燥烘箱中烘干备用；

步骤S2、在透明导电玻璃(5)上采用喷涂法、热蒸镀法或原子层沉积法制备电子传输层(4)；

步骤S3、在电子传输层(4)上制备钙钛矿吸收层(3)；钙钛矿吸收层(3)为ABX3型钙钛矿光伏材料；

步骤S4、在钙钛矿吸收层(3)上利用磁控溅射制备p-CuAlO₂空穴传输层。

2.根据权利要求1所述钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法，其特征在于：步骤S1中透明导电玻璃(5)为ITO玻璃或FTO玻璃；透明导电玻璃(5)的方块电阻为10Ω/sq。

3.根据权利要求1所述钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法，其特征在于：步骤S1中依次利用洗涤剂、去离子水、丙酮和乙醇清洗透明导电玻璃(5)，每次清洗10分钟；真空干燥烘箱烘干温度为70℃，烘干时长为30分钟。

4.根据权利要求1所述钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法，其特征在于：步骤S2中电子传输层(4)厚度为1～300nm。

5.根据权利要求1所述钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法，其特征在于：步骤S3中钙钛矿吸收层(3)的厚度为50～1500nm。

6.根据权利要求1所述钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法，其特征在于：步骤S3内ABX3中的A为一价阳离子，A取甲胺、甲脒、5-异戊酸铵或Cs中的至少一种，B为Sn、Pb中的至少一种，X为I、Br或Cl中的至少一种。

7.根据权利要求1所述钙钛矿太阳能电池的无机空穴传输层的制备方法，其特征在于：步骤S4内p-CuAlO₂空穴传输层厚度为1～300nm；磁控溅射法制备p-CuAlO₂空穴传输层时，磁控溅射开始蒸镀前，腔体真空度为1Pa。

8.一种如权利要求1所述无机空穴传输层的制备方法在钙钛矿太阳能电池制备中的应用，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1、清洗透明导电玻璃(5)，然后将透明导电玻璃(5)在真空干燥烘箱中烘干备用；

步骤S2、在透明导电玻璃(5)上采用喷涂法、热蒸镀法或原子层沉积法制备电子传输层(4)；

步骤S3、在电子传输层(4)上制备钙钛矿吸收层(3)；钙钛矿吸收层(3)为ABX3型钙钛矿光伏材料；

步骤S4、在钙钛矿吸收层(3)上利用磁控溅射制备p-CuAlO₂空穴传输层；

步骤S5、在p-CuAlO₂空穴传输层上制备电极层(1)。

9.根据权利要求8所述无机空穴传输层的制备方法在钙钛矿太阳能电池制备中的应用，其特征在于：步骤S5中，电极层(1)的材料为Al、Ag、Au、Mo、Cr、C中的一种，电极层(1)厚度为80～120nm。

10.根据权利要求8所述无机空穴传输层的制备方法在钙钛矿太阳能电池制备中的应用，其特征在于：步骤S5中，电极层(1)的材料为Ag，步骤S5利用热蒸发镀膜机在p-CuAlO₂空穴传输层上进行镀膜得到Ag电极。