[发明专利]光电子抑制电离源装置有效

专利信息
申请号: 202110992525.8 申请日: 2021-08-27
公开(公告)号: CN113808908B 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 李海洋;曹艺雪;陈平;文宇轩;陈懿 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/16 分类号: H01J49/16;H01J49/06
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 何丽英
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 光电子 抑制 电离 装置
【权利要求书】:

1.一种光电子抑制电离源装置,其特征在于,包括紫外光源(1)、传输电极、出口电极(9)及绝缘挡光装置,其中传输电极和出口电极(9)的轴向开有通孔,出口电极(9)设置于传输电极的底部,紫外光源(1)设置于传输电极的顶部通孔处,传输电极用于离子传输,出口电极(9)用于真空差分;

绝缘挡光装置用于间隔传输电极和出口电极(9)及用于遮挡紫外光源(1)的紫外光对传输电极和出口电极(9)的辐照;

所述传输电极包括顶盖电极(3)、入口电极(5)和多极杆电极(7),其中顶盖电极(3)设置于入口电极(5)的上方,多极杆电极(7)沿周向布设于入口电极(5)的下方,且轴线与所述传输电极的传输方向平行;

所述挡光装置包括顶盖电极挡光绝缘垫(2)、入口电极绝缘垫(4)、多极杆电极绝缘垫(6)及挡光管(8),其中顶盖电极挡光绝缘垫(2)设置于紫外光源(1)和顶盖电极(3)之间,用于阻挡紫外光源(1)的紫外光对顶盖电极(3)的辐照;入口电极绝缘垫(4)设置于顶盖电极(3)和入口电极(5)之间,用于阻挡紫外光源(1)的紫外光对入口电极(5)的辐照;挡光管(8)设置于多极杆电极(7)的内侧,用于阻挡紫外光源(1)的紫外光对多极杆电极(7)的辐照。

2.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)、入口电极绝缘垫(4)和多极杆电极绝缘垫(6)均为环形结构,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)的内孔直径小于所述顶盖电极(3)上的通孔直径;所述入口电极绝缘垫(4)的内孔直径小于入口电极(5)上的通孔直径。

3.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述挡光管(8)设有底部通孔;所述挡光管(8)的底部通孔直径小于所述出口电极(9)上的通孔直径。

4.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述挡光管(8)的底部沿径向向外设有延伸部,所述延伸部位于所述多极杆电极(7)和所述出口电极(9)之间。

5.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)、入口电极绝缘垫(4)和多极杆电极绝缘垫(6)采用PEEK绝缘垫。

6.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极(3)的顶部设有凹槽,所述顶盖电极挡光绝缘垫(2)容置于该凹槽内。

7.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极(3)上设有进样毛细管(10),所述进样毛细管(10)的进样端位于所述传输电极内侧的电离区内。

8.根据权利要求1所述的光电子抑制电离源装置,其特征在于,所述顶盖电极(3)和所述入口电极(5)上施加有直流传输电压;所述多极杆电极(7)上叠加有射频电压,实现离子的聚焦传输。

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