[发明专利]提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒

说明书

提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒。本发明提供一种通过用于使设置于外盒的侧框架与主框架紧固的紧固部提高紧固力并防止向外部露出的外盒，涉及一种光掩膜内盒移动用外盒，通过用于使主框架与侧框架相互紧固的紧固部结构提高紧固力，所述紧固部采用非突出型结构，移动时也可预先防止紧固部损坏，利用提高固定力的支撑部，将托架固定到外盒的内部的搁置部，托架是将光掩膜内盒移动至外盒的内部时的必需结构要素，设置防折叠部件来防止通过铆钉将片材连接至构成外盒的框架时所述片材发生折叠部分，并对托架进行支撑。

技术领域

本发明涉及光掩膜内盒移动用外盒，更具体地涉及一种通过用于使设置于所述外盒的侧框架与主框架紧固的紧固部来提高紧固力并防止向外部露出的外盒。

背景技术

首先，现有技术中，移动盒通常是矩形平板形状的基板，包括用于制造液晶显示器(LCD)面板或等离子体显示器(PD)面板的玻璃基板、玻璃基板的表面上层叠遮光膜或抗蚀刻膜等的光罩基底、以及通过光刻工序形成电路图案的光掩模等。

这种基板在各个制造工序以及作为后续工序的成膜工序或曝光工序中均需要高洁净度，因此例如在保持100级左右洁净度的洁净室中制造。

在洁净室中，所制造的基板收容在无尘结构的基板箱(内箱)并被密封。

如上所述的基板是重物。

例如，在对角线尺寸为18m左右的基板的情况下，单个基板的质量约为50kg，在对角线尺寸约为24m水平的基板的情况下，单个基板的质量超过100kg。

因此，由人力抬起并运输收容基板的基板箱是不现实的。

对此，为了便于移动收容基板的基板箱，而在基板箱的下端设置脚轮。

现有基板箱中，基板以表面和背面铅直的纵置姿势收容于基板箱。

或者，在将基板收容于基板箱后，将基板箱屹立，使得基板处于所述纵置姿势。

脚轮设置在此时作为下端的箱子底部的四个角。

被称为传递窗的具有中等洁净度的洁净室中，收容基板的基板箱由箱盖部包装，所述箱盖部由用作洁净布料的抑制产生灰尘的布制造。

箱盖部在下表面侧具有开口部，具有从上方覆盖箱本体部的袋状，下表面侧形成有底面部，所述底面部从彼此平行地上下延伸的一侧的立面侧(例如，基板的表面侧)向另一侧的立面侧(例如，基板的背面侧)延伸。

例如，底面部在未配置脚轮的区域穿过箱本体部的下侧，形成为连接所述立面之间的舌片形状，通过表面搭扣卡止并附着于另一侧的立面侧。

因此，当运输基板箱时，箱本体部被箱盖部覆盖，颗粒(灰尘)不会容易附着在其上。

由箱盖部包装的基板箱从传递窗移到常规环境。

运输过程中，由箱盖部包装的基板箱(内箱)收容于更大的运输箱(外箱)，以严格保护的状态运输。

由于如上所述的基板是重物，因此人难以抬起并移动基板运输箱。

因此，在基板运输箱的下端部也设置脚轮。

利用基板箱、箱盖部以及由基板运输箱包装的基板在工厂内用脚轮或叉式升降机移动，并通过卡车或飞机等运输工具从基板制造厂运输到下一工序的工厂。

近年来，LCD面板、PD面板的大型化进一步发展，也开始需要对角线尺寸超过2m的大型基板。

当基板变大时，质量也会增加，例如大小为1800×1600×17mm的基板的单个基板的质量高达110kg。

为了保护和稳定移动这种加大、加重的基板，存在仅通过按比例放大现有基板箱无法解决的各种问题。