[发明专利]一种小尺寸测试版脱膜方法及脱膜装置

权利要求书

1.一种小尺寸测试版脱膜方法，其特征在于，包括首先利用光照射测试版具有光刻胶的表面，光刻胶吸收光发生光解，使得光刻胶易溶于显影液；然后利用显影液冲洗被光照射后的测试版表面，将测试版表面发生光解的光刻胶冲洗溶解至无光刻胶残留；最后，用纯水冲洗测试版表面，至无显影液残留。

2.根据权利要求1所述的小尺寸测试版脱膜方法，其特征在于，所述光为i线或g线。

3.根据权利要求1所述的小尺寸测试版脱膜方法，其特征在于，所述光刻胶的制备原料中包括有成膜剂、感光剂和溶解剂，所述成膜剂为线性酚醛树脂，感光剂为重氮萘醌化合物，所述显影液为2.38％四甲基氢氧化铵。

4.根据权利要求1所述的小尺寸测试版脱膜方法，其特征在于，所述测试版尺寸不大于9英寸。

5.根据权利要求1所述的小尺寸测试版脱膜方法，其特征在于，所述测试版在脱膜过程中始终处于水平安装且旋转状态。

6.一种小尺寸测试版脱膜装置，其特征在于，基于权利要求1至5任一所述的小尺寸测试版脱膜方法进行脱膜，所述脱膜装置包括用于固定测试版的测试版夹具和罩设在所述测试版夹具上且可相互替换的光照装置和冲洗装置；

所述测试版夹具包括可旋转平台和固定于所述可旋转平台上的可调夹持组件，所述可调夹持组件包括四呈矩阵排列的可伸缩夹持头，四所述可伸缩夹持头分别由测试版的四边夹紧待脱膜测试版；

所述光照装置包括不透明的罩箱，所述罩箱内顶面上设置有对测试版表面光刻胶进行光照处理的光源；

所述冲洗装置包括透明防水罩，所述透明防水罩内设置有若干朝向测试版的喷淋头，所述喷淋头包括显影液喷淋头和纯水喷淋头，所述显影液喷淋头上连接有显影液槽，所述纯水喷淋头上连接有水槽。

7.根据权利要求6所述的小尺寸测试版脱膜装置，其特征在于，所述可旋转平台包括固定底座、安装在所述固定底座上的旋转驱动机构、由所述旋转驱动机构驱动并置于所述固定底座上的旋转置物架，所述可调夹持组件安装于所述旋转置物架上；

所述固定底座包括支撑架和置于所述支撑架上的固定台面，所述旋转置物架包括旋转平台和固定于所述旋转平台上表面的旋转支架，所述旋转平台置于所述固定台面上且旋转平台底面中心连接有穿过所述固定台面并与所述旋转驱动机构连接的转轴，所述可调夹持组件安装于所述旋转支架上；

所述旋转驱动机构包括与所述转轴固接的从动轮、与所述从动轮啮合的主动轮和驱动所述主动轮旋转的驱动电机；

所述旋转平台的底面与所述固定台面的上表面均分别设置有相对的环槽，所述环槽内设置有支撑球体；所述旋转支架包括固定于旋转平台表面上的四支撑立柱和由所述四支撑立柱支撑起的固定框，所述可调夹持组件安装于所述固定框上。

8.根据权利要求7所述的小尺寸测试版脱膜装置，其特征在于，所述可伸缩夹持头包括相互固定的夹紧板和托板，所述夹紧板和托板组成一呈L型区域用于夹紧测试版，所述夹紧板上远离所述托板的背面朝向固定框且连接有调节螺杆和光滑导杆，所述调节螺杆和所述光滑导杆均穿过所述固定框；

所述调节螺杆朝向所述夹紧板的一端通过轴承连接有盖板，所述盖板与所述夹紧板固定安装，所述光滑导杆与所述夹紧板固定连接。

9.根据权利要求6所述的小尺寸测试版脱膜装置，其特征在于，所述罩箱上还设置有触控屏和一组反向安装的不对称的通风风扇，所述光源为LED矩阵光源，且均与所述触控屏电连接。

10.根据权利要求6所述的小尺寸测试版脱膜装置，其特征在于，所述透明防水罩内设置有照明光源，所述喷淋头均布安装在所述透明防水罩的内侧面上，且显影液喷淋头和纯水喷淋头间隔设置；所述显影液槽和水槽上分别连接有泵，且均置于透明防水罩外部。