[发明专利]SRAM存储单元版图及设计方法、电路、半导体结构、存储器在审

专利信息
申请号: 202111061849.6 申请日: 2021-09-10
公开(公告)号: CN115796103A 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 李宗翰;刘志拯 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G06F30/392 分类号: G06F30/392;G06F30/394;G11C11/412;H10B10/00
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 高天华;张颖玲
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: sram 存储 单元 版图 设计 方法 电路 半导体 结构 存储器
【权利要求书】:

1.一种SRAM存储单元版图,其特征在于,包括:

衬底;

沿第一方向延伸的至少一个有源区;

沿第二方向延伸的至少一个栅极结构;所述第二方向垂直于所述第一方向;

至少一个接触结构;其中,

所述至少一个接触结构连接所述至少一个有源区中的两个相邻有源区,以及目标栅极结构;所述目标栅极结构属于所述至少一个栅极结构;

所述目标栅极结构在所述衬底中的投影相交于所述至少一个有源区中除所述两个相邻有源区外的其他有源区在所述衬底中的投影。

2.根据权利要求1所述的SRAM存储单元版图,其特征在于,所述至少一个有源区包括:第一有源区和第二有源区;所述至少一个栅极结构包括:第一栅极结构;所述至少一个接触结构包括:第一接触结构;其中,

所述第一接触结构连接所述第一有源区、所述第二有源区和所述第一栅极结构。

3.根据权利要求2所述的SRAM存储单元版图,其特征在于,所述至少一个有源区还包括:第三有源区和第四有源区;所述至少一个栅极结构还包括:第二栅极结构;所述至少一个接触结构还包括:第二接触结构;其中,

所述第一有源区在所述衬底中的投影和所述第二有源区在所述衬底中的投影分别相交于所述第二栅极结构在所述衬底中的投影;所述第三有源区在所述衬底中的投影和所述第四有源区在所述衬底中的投影分别相交于所述第一栅极结构在所述衬底中的投影;

所述第二接触结构连接所述第三有源区、所述第四有源区和所述第二栅极结构。

4.根据权利要求3所述的SRAM存储单元版图,其特征在于,所述版图还包括:

沿所述第二方向延伸的第三栅极结构;

第三接触结构、第四接触结构、第五接触结构和第六接触结构;其中,

所述第三栅极结构在所述衬底中的投影相交于所述第一有源区在所述衬底中的所述投影;

所述第三接触结构和所述第四接触结构均位于所述第一有源区中;所述第三接触结构和所述第一接触结构分别位于所述第三栅极结构的两侧;所述第四接触结构和所述第一接触结构分别位于所述第二栅极结构的两侧;

所述第五接触结构位于所述第二有源区中;所述第五接触结构和所述第一接触结构分别位于所述第二栅极结构的两侧;

所述第六接触结构位于所述第三栅极结构中。

5.根据权利要求3或4所述的SRAM存储单元版图,其特征在于,所述版图还包括:

沿所述第二方向延伸的第四栅极结构;

第七接触结构、第八接触结构、第九接触结构和第十接触结构;其中,

所述第四栅极结构在所述衬底中的投影相交于所述第四有源区在所述衬底中的投影;

所述第七接触结构位于所述第三有源区中;所述第七接触结构和所述第二接触结构分别位于所述第一栅极结构的两侧;

所述第八接触结构和所述第九接触结构均位于所述第四有源区中;所述第八接触结构和所述第二接触结构分别位于所述第一栅极结构的两侧;所述第九接触结构和所述第二接触结构分别位于所述第四栅极结构的两侧;

所述第十接触结构位于所述第四栅极结构中。

6.根据权利要求5所述的SRAM存储单元版图,其特征在于,所述版图还包括:

第一金属线、第二金属线、第三金属线、第四金属线、第五金属线、第六金属线、第七金属线和第八金属线;其中,

所述第一金属线、所述第二金属线、所述第三金属线、所述第四金属线、所述第五金属线、所述第六金属线、所述第七金属线和所述第八金属线分别依次连接所述第三接触结构、所述第四接触结构、所述第五接触结构、所述第六接触结构、所述第七接触结构、所述第八接触结构、所述第九接触结构和所述第十接触结构。

7.根据权利要求1所述的SRAM存储单元版图,其特征在于,所述至少一个接触结构的形状为L形。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司,未经长鑫存储技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111061849.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top