[发明专利]一种降低正向开启电压的肖特基二极管有效
| 申请号： | 202111116527.7 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113851544B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 周勇 | 申请（专利权）人： | 先之科半导体科技（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/06 |
| 代理公司： | 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 | 代理人： | 何新华 |
| 地址： | 523430 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 降低 正向 开启 电压 肖特基 二极管 | ||
1.一种降低正向开启电压的肖特基二极管，其特征在于，包括阴极金属层(1)、N型硅衬底(2)、N-硅外延层(3)、阳极金属层(4)、二氧化硅钝化层(5)；
所述阳极金属层(4)下端依次设有n个沟槽(6)，n为大于等于3的奇数；
第(n+1)/2个所述沟槽(6)与所述N型硅衬底(2)之间形成的压降大于其余的所述沟槽(6)与所述N型硅衬底(2)之间形成的压降；
第1个所述沟槽(6)至第(n+1)/2所述沟槽(6)沿水平面方向的投影面积逐渐减小，第(n+1)/2个所述沟槽(6)至第n个所述沟槽(6)沿水平面方向的投影面积逐渐增大；
所有的所述沟槽(6)沿垂直方向具有相同的深度；
第(n+1)/2个所述沟槽(6)内填充有第一活泼金属(7)，其余的所述沟槽(6)内均填充有第二活泼金属(8)，所述第一活泼金属(7)的金属活泼性大于所述第二活泼金属(8)的金属活泼性。
2.根据权利要求1所述的一种降低正向开启电压的肖特基二极管，其特征在于，所述第一活泼金属(7)选自金、铂、银、铜、铅中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种降低正向开启电压的肖特基二极管，其特征在于，所述第二活泼金属(8)选自铜、铅、铁、锌、铝中的一种。
4.根据权利要求1所述的一种降低正向开启电压的肖特基二极管，其特征在于，所述阳极金属层(4)边缘下侧还设有P+型保护环(11)。
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