[发明专利]气体清除设备、方法、装置、控制系统及存储介质

权利要求书

1.一种气体清除设备，其特征在于，所述气体清除设备包括：

箱体，所述箱体内部具有容置空间；

分隔部，设置于所述箱体内，所述分隔部沿所述箱体的竖向方向延伸，所述容置空间被所述分隔部分隔为第一容置空间和第二容置空间，所述第一容置空间被设置为容置晶圆模组；其中，所述分隔部设置有连通所述第一容置空间和所述第二容置空间的通气部；

至少一个出气通道，设置于所述箱体的侧部，所述出气通道连通所述箱体的第二容置空间；

抽气装置，设置于所述箱体的侧部，所述抽气装置通过所述出气通道与所述箱体的所述第二容置空间连通，所述抽气装置被设置为抽取所述第二容置空间内的气体；

控制单元，所述控制单元与所述抽气装置电连接；

检测装置，所述检测装置被设置为检测所述晶圆模组的气体残余参数，所述检测装置与所述控制单元电连接；

所述通气部包括至少一层进气通孔，每一层包括多个进气通孔，并沿分隔部的水平方向间隔设置。

2.根据权利要求1所述的气体清除设备，其特征在于，所述出气通道被构造为变径通道。

3.根据权利要求2所述的气体清除设备，其特征在于，所述气体清除设备还包括至少一个法兰盘，所述法兰盘被设置为所述出气通道；

其中，沿所述法兰盘的轴向方向，所述法兰盘的内径尺寸不一致。

4.根据权利要求2所述的气体清除设备，其特征在于，所述变径通道的与所述第二容置空间连通的第一端部的径向截面积大于所述变径通道的与所述抽气装置连通的第二端部的径向截面积。

5.根据权利要求1所述的气体清除设备，其特征在于，所述第一容置空间内包括多个气流流动通道，所述晶圆模组包括多个晶圆，每个所述气流流动通道位于相邻的两个所述晶圆之间，其中，所述晶圆上方的气体沿着所述气流流动通道流向所述进气通孔。

6.根据权利要求1所述的气体清除设备，其特征在于，所述抽气装置包括抽气部和管道组件，所述抽气部通过所述管道组件与所述出气通道连接。

7.根据权利要求6所述的气体清除设备，其特征在于，所述抽气装置还包括调节单元，所述调节单元安装于所述管道组件，所述调节单元与所述控制单元通信连接。

8.根据权利要求6所述的气体清除设备，其特征在于，所述抽气装置包括压力监测单元，所述压力监测单元设置于所述管道组件，所述压力监测单元与所述控制单元通信连接。

9.根据权利要求1所述的气体清除设备，其特征在于，所述气体清除设备还包括风速监测单元；

所述风速监测单元设置于所述第二容置空间内；和/或，所述风速监测单元设置于所述第一容置空间内；

所述风速监测单元与所述控制单元通信连接。

10.根据权利要求1所述的气体清除设备，其特征在于，所述气体清除设备还包括提醒装置，所述提醒装置与所述控制单元通信连接。

11.一种气体清除方法，其特征在于，所述气体清除方法应用于如权利要求1至10中任一项所述的气体清除设备，所述气体清除方法包括：

获取晶圆模组表面的气体残余参数；

将所述气体残余参数与气体预设参数进行比对；

基于比对结果，确定抽气装置的气体调节参数。

12.根据权利要求11所述的气体清除方法，其特征在于，所述基于比对结果，确定抽气装置的气体调节参数，包括：

若气体残余参数大于气体预设参数，控制抽气装置抽取气体时的气体流速增大；

若气体残余参数小于或等于气体预设参数，则发送提醒信息至提醒装置。