[发明专利]导通检查用治具和印刷布线板的检查方法

说明书

本发明提供导通检查用治具和印刷布线板的检查方法。本发明的目的在于实现导通检查用治具的小型化。实施方式的导通检查用治具(110)具有：第1部件(10)，其具有多个第1开口(12)；第2部件(20)，其位于第1部件(10)的上方，具有多个第2开口(22)；第3部件(30)，其为了在第1部件(10)与第2部件(20)之间形成空间(SP)而配置于第1部件(10)与第2部件(20)之间；以及探针(38)，其通过第1开口(12)中的一个、空间(SP)以及第2开口(22)中的一个。而且，第3部件(30)大致包围空间(SP)。

技术领域

本发明涉及导通检查用治具和印刷布线板的检查方法。

背景技术

专利文献1公开了一种基板检查用治具。

专利文献1：日本特开2007-309648号公报

[专利文献1的课题]

如专利文献1的图2所示，专利文献1的基板检查用治具具有触头、第1保持部、第2保持部以及支柱。而且，在第1保持部与第2保持部之间配置有支柱。因此，可以认为第1保持部与支柱之间的接触面积较小。可以认为第2保持部与支柱之间的接触面积较小。而且，可以考虑利用螺钉来固定第1保持部和支柱。同样地，可以考虑利用螺钉来固定第2保持部和支柱。在该情况下，可以认为如果支柱的长度较短，则固定第1保持部和支柱的螺钉(第1保持部用螺钉)与固定第2保持部和支柱的螺钉(第2保持部用螺钉)发生干涉。例如，可以预想到第1保持部用螺钉与第2保持部用螺钉发生碰撞。可以认为难以使用专利文献1的技术来缩短支柱的长度。例如，推测难以使用专利文献1的技术来实现基板检查用治具的小型化。通过支柱而在第1保持部与第2保持部之间形成有空间。因此，可以认为难以使用专利文献1的技术来自由地确定空间的距离。另外，推测异物会从外部侵入到空间内。可以认为异物会降低检查的精度。

发明内容

本发明的导通检查用治具具有：第1部件，其具有多个第1开口；第2部件，其位于所述第1部件的上方，具有多个第2开口；第3部件，其为了在所述第1部件与所述第2部件之间形成空间而配置于所述第1部件与所述第2部件之间；以及探针，其通过所述第1开口中的一个、所述空间以及所述第2开口中的一个。而且，所述第3部件大致包围所述空间。

[实施方式的效果]

本发明的实施方式的导通检查用治具在配置于第1部件与第2部件之间的第3部件处形成空间。而且，第3部件大致包围空间。因此，能够使第3部件的厚度变薄。能够使导通检查用治具小型化。能够提高空间内的清洁度。能够以较高的精度进行导通检查。

附图说明

图1的(A)是电极的俯视图，图1的(B)是印刷布线板的剖视图，图1的(C)是参考例的导通检查用治具的剖视图。

图2示出检查装置和印刷布线板。

图3的(A)示出参考例的导通检查用治具，图3的(B)是第3部件的第1例的立体图，图3的(C)示出第3部件的第2例的外壁，图3的(D)示出第3部件的第3例的外壁。

图4的(A)示出第3部件的第4例的上表面，图4的(B)示出第3部件的第5例的外壁，图4的(C)示出第3部件的第6例的上表面。

图5是实施方式的改变例的导通检查用治具的剖视图。

图6的(A)和图6的(B)示出间隙的例子，图6的(C)示出部件的组合方法的例子。

图7的(A)是第3部件的第7例的立体图，图7的(B)是第3部件的第7例的上表面。

标号说明