[发明专利]一种高纯及超纯气体高保真取样装置和方法

权利要求书

1.一种高纯及超纯气体高保真取样装置，其特征在于：包括耐高压储气瓶（1）以及分别连接在耐高压储气瓶（1）出口端和入口端的第一管路（11）和第二管路（12），还包括具有吸入室（25）的真空发生器（2），所述的第一管路（11）连接气体分析仪，第一管路（11）上分别设置有第二微量调节阀（5）以及压力表（6），所述的第二管路（12）上设置有第一微量调节阀（4），第二管路（12）与真空发生器（2）的引射空气入口（22）相连，第一微量调节阀（4）与耐高压储气瓶（1）之间的第二管路（12）上引出第三管路（13），真空发生器（2）的混合气体出口（23）连接第四管路（14），第四管路（14）上设置有三通阀（3），第三管路（13）连接三通阀（3）第一端，三通阀（3）第二端与真空发生器（2）的混合气体出口（23）连接， 三通阀（3）与大气相通，所述的样品气入口（21）处设置有拉瓦尔喷嘴（24）。

2.根据权利要求1所述的一种高纯及超纯气体高保真取样装置，其特征在于，所述的耐高压储气瓶（1）工作压力≥20MPa，采用不锈钢材质。

3.根据权利要求1所述的一种高纯及超纯气体高保真取样装置，其特征在于，所述的第一微量调节阀（4）、第二微量调节阀（5）以及三通阀（3）采用无死体积微量连续调节针阀。

4.根据权利要求1所述的一种高纯及超纯气体高保真取样装置，其特征在于，所述的压力表（6）是压力范围为-0.1MPa～2.4MPa的真空压力表。

5.一种如权利要求1所述高纯及超纯气体高保真取样装置进行取样的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1，抽真空置换

关闭第二微量调节阀（5）并打开第一微量调节阀（4），将三通阀（3）切换至与第四管路（14）相通，将样品气接入样品气入口（21），调节样品气流量，样品气通过拉瓦尔喷嘴（24）喷射到混合气体出口（23），使吸入室（25）内形成负压区，耐高压储气瓶（1）内的空气被吸走，真空度降低，当压力表（6）的示数小于设定值时，关闭第一微量调节阀（4），停止进气；

S2，气体取样

将三通阀（3）切换至与第三管路（13）相通，样品气通过第三管路（13）进入耐高压储气瓶（1），待压力表（6）的示数达到设定值时，将三通阀（3）切换至与第四管路（14）相通，停止进气；

S3，进样分析

缓慢调节第二微量调节阀（5），将储存在耐高压储气瓶（1）的样品气送入气体分析仪进行分析，即完成进样分析。