[发明专利]一种光刻机的气缸压臂式上下板装置

说明书

本发明公开了一种光刻机的气缸压臂式上下板装置，包括位于机架上的上板平台和气缸压臂上下板机构，上板平台位于气缸压臂上下板机构的一侧，气缸压臂上下板机构包括真空吸附鼓、尾板夹压臂、压板滚轮压臂、首板夹压臂和出板夹压臂，尾板夹压臂、压板滚轮压臂和首板夹压臂设置在真空吸附鼓的上方，出板夹压臂位于真空吸附鼓远离上板平台的一侧；真空吸附鼓的两端分别通过轴承固定在机架的两侧板上，且真空吸附鼓的一端与第一电机连接，真空吸附鼓的鼓面上设有燕尾槽，燕尾槽上设有固定板夹和活动板夹，活动板夹通过滑块与燕尾槽活动连接。本发明采用上述结构的光刻机的气缸压臂式上下板装置，稳定性好，提升了上下板的速度，制版效率高。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，特别是涉及一种光刻机的气缸压臂式上下板装置。

背景技术

光刻机一般根据操作的简便性分为手动、半自动和全自动三种，其中全自动指的是从基板的上下板到曝光时长和循环都是通过程序控制，此种生产方式能够满足工厂对于处理量的需要。但是现有技术中的全自动光刻机在生产过程中存在基板板材与真空吸附鼓的鼓面之间固定不稳、上下板的速度不高的问题，影响了制版效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种光刻机的气缸压臂式上下板装置，稳定性好，提升了上下板的速度，制版效率高。

为实现上述目的，本发明提供了一种光刻机的气缸压臂式上下板装置，包括位于机架上的上板平台和气缸压臂上下板机构，所述上板平台位于所述气缸压臂上下板机构的一侧，所述气缸压臂上下板机构包括真空吸附鼓、尾板夹压臂、压板滚轮压臂、首板夹压臂和出板夹压臂，所述尾板夹压臂、所述压板滚轮压臂和所述首板夹压臂设置在所述真空吸附鼓的上方，所述压板滚轮压臂位于所述尾板夹压臂和所述首板夹压臂之间，所述尾板夹压臂靠近所述上板平台设置，所述出板夹压臂位于所述真空吸附鼓远离所述上板平台的一侧；

所述真空吸附鼓的两端分别通过轴承固定在所述机架的两侧板上，且所述真空吸附鼓的一端与第一电机连接，所述真空吸附鼓的鼓面上沿其周向方向设有燕尾槽，所述燕尾槽上设有固定板夹和活动板夹，所述固定板夹与所述燕尾槽固定连接，所述活动板夹通过滑块与所述燕尾槽活动连接。

优选的，所述上板平台靠近所述真空吸附鼓的一侧边上设有与第二电机连接的主动轴，所述上板平台远离所述真空吸附鼓的一侧边上设有从动轴，所述主动轴和所述从动轴之间设有位于所述上板平台上下两侧的传送带，所述传送带的数量不少于2个且均匀分布在所述上板平台上。

优选的，所述尾板夹压臂、所述首板夹压臂和所述出板夹压臂均包括第一固定架，所述第一固定架的两端分别与所述机架的两侧板连接，所述第一固定架上设有第一气缸和对称设置在所述第一气缸两侧的导向轴，所述第一气缸的伸缩杆朝向所述真空吸附鼓设置，且所述第一气缸的伸缩杆末端与压臂架连接，所述压臂架的两端设有与所述导向轴对应设置的导向孔，所述压臂架的底面与压臂连接。

优选的，所述压板滚轮压臂包括第二固定架，所述第二固定架的两端分别与所述机架的两侧板连接，所述第二固定架上设有第二气缸和对称设置在所述第二气缸两侧的导向柱，所述第二气缸的伸缩杆朝向所述真空吸附鼓设置，且所述第二气缸的伸缩杆末端与滚轮架连接，所述滚轮架的两端设有与所述导向柱对应设置的限位孔，所述滚轮架的底面与压板滚轮连接。

优选的，所述第一电机、所述第二电机、所述第一气缸和所述第二气缸均与控制器连接。

因此，本发明采用上述结构的光刻机的气缸压臂式上下板装置，稳定性好，提升了上下板的速度，制版效率高。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本发明光刻机的气缸压臂式上下板装置实施例的示意图；

图2是本发明光刻机的气缸压臂式上下板装置实施例的剖视图；