[发明专利]一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池在审
申请号: | 202111194215.8 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN115966625A | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 何秉轩 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/068 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 张子宽;王胜利 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种太阳能电池的制备方法,其特征在于,该方法包括:
在基板上制作金属电极;
在所述金属电极上制作牺牲层;
在所述基板上制作介电材料层,所述介电材料层覆盖于所述基板和所述牺牲层的表面;
去除所述牺牲层,以将覆盖于所述牺牲层上的所述介电材料层一起去除,使所述金属电极的表面裸露。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述在基板上制作金属电极,在所述金属电极上制作牺牲层;
具体为:
将图案化的掩膜固定于所述基板;
在固定有所述掩膜的基板上沉积金属膜,然后制作所述牺牲层;
去除所述掩膜,以将覆盖于所述掩膜上的所述金属膜和所述牺牲层一起从所述基板上剥离,留下覆盖于所述金属膜的表面的所述牺牲层。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,通过水洗、光照和加热方式中的一种或多种方式去除所述牺牲层。
4.根据权利要求1-2任一项所述的制备方法,其特征在于,所述在沉积金属膜的所述掩膜上制作牺牲层,具体为:
在沉积金属膜的所述掩膜上涂覆或粘贴牺牲层;所述牺牲层的厚度为15nm~10μm。
5.根据权利要求1-2任一项所述的制备方法,其特征在于,所述牺牲层为水溶性材料;所述水溶性材料选自NaCl、KCl;
或,所述牺牲层为有机材料;所述有机材料选自聚乙烯醇和聚乙烯吡咯烷酮中的一种或多种。
6.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,通过物理气相沉积方法或化学气相沉积方法在所述基板上制作所述金属电极和所述介电材料层。
7.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述介电材料层的材质选自氧化铝、氧化硅、氮化硅、碳化硅、非晶硅、微晶硅中的一种或多种组合。
8.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述基板的制备过程包括:
提供一硅衬底;
在所述硅衬底的至少一侧表面制作掺杂层、钝化层、遂穿层和选择性接触介电层中的一种或多种组合。
9.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述太阳能电池为TOPCON电池。
10.一种太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池通过权利要求1-9的制备方法获得。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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