[发明专利]一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池在审
申请号: | 202111194215.8 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN115966625A | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 何秉轩 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/068 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 张子宽;王胜利 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 制备 方法 | ||
本发明公开一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池,涉及光伏领域,解决了激光开槽容易对基板造成损伤的问题。制备方法包括:在基板上制作金属电极;在金属电极上制作牺牲层;在基板上制作介电材料层,介电材料层覆盖于基板和牺牲层的表面;去除牺牲层,将覆盖于覆盖于牺牲层上的介电材料层一起去除,使金属电极的表面裸露。相较于现有的先在基板上制作介电材料层,再在介电材料层上开槽后制作金属电极,本方法不需要在基板上方进行激光开槽,不会出现激光开槽过程中对基板的损伤。本太阳能电池通过本制备方法获得,能够避免或减少对基板造成损伤。
技术领域
本发明涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池。
背景技术
太阳电池是一种将光能转换为电能的装置。其中,需要将在吸收层基板(例如硅)上制备导电电极将载流子导出并形成通路,这通常称为电池的金属化。电池的金属化方法主要有三种方法:物理镀(如溅射、蒸发和沉积),化学镀(如化学镀和电镀)和丝网印刷。其中,丝网印刷技术,即用印刷机械将导电浆料涂布在太阳能电池表面,形成细线电极,然后干燥烧结后形成金属接触。由于丝网印刷技术的简单性和可靠性,目前世界上绝大多数晶体硅太阳电池的导电电极都是采用丝网印刷工艺。
但随着太阳能电池对金属电极制备精度和材料的要求,丝网印刷工艺已经无法满足要求。目前越来越多地采用激光开槽工艺,在基板的介电层激光开槽制作出与电极图案吻合的格栅槽,再通过物理镀或化学镀等方式,在基板上形成金属电极。这种激光开槽制备电极的方式存在的问题是,激光开槽时,对工艺要求高,一方面需要针对基板上用于钝化和减反等功能的介电层的不同材料、结构和厚度设计激光工艺,一旦介电层材料、结构和厚度发生改变则需要再次开发工艺,技术复杂且容忍性差,另一方面,激光开槽需要精确控制开槽深度,不容易掌握,容易导致激光穿过介电层后对基板造成损伤。另外,丝网印刷工艺还有采用烧穿型浆料;但是烧穿型浆料同样存在,浆料烧穿介电层后继续向下烧穿,对基板造成损伤。
发明内容
本发明的目的在于提供一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池的制备方法,以避免或减少对基板造成损伤。
第一方面,本发明提供一种太阳能电池的制备方法,该方法包括:
在基板上制作金属电极;
在金属电极上制作牺牲层;
在基板上制作介电材料层,介电材料层覆盖于基板牺牲层的表面;
去除牺牲层,以将覆盖于牺牲层上的介电材料层一起去除,使金属电极的表面裸露。
采用上述技术方案时,由于先在基板上制作金属电极,再在金属电极上制作牺牲层,然后,在基板上制作介电材料层,介电材料层覆盖于基板和牺牲层的表面,最后,去除牺牲层,以将覆盖于牺牲层上的介电材料层一起去除,使金属电极的表面裸露。由于牺牲层的作用是容易分离,因此,牺牲层设置于金属电极和介电材料层之间,能够方便金属电极上的介电材料层与金属电极分离,露出金属电极的表面。相较于现有的先在基板上制作介电材料层,再在介电材料层上开槽后制作金属电极相比,本发明中的方法不需要在基板上方进行介电层激光开槽或浆料烧穿,一方面不需要针对基板上的介电材料层的不同材料、结构和厚度设计激光工艺,简化了工艺,另一方面不会出现激光开槽过程中对基板的损伤。因此,避免或减少了对基板造成损伤。
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