[发明专利]一种用于钛合金晶粒度显示的方法

权利要求书

1.一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1：取样，对待检钛合金进行切割取样，得到试样；

步骤S2：打磨抛光，对试样进行打磨、抛光；

步骤S3：划痕检查，将步骤S2中打磨抛光后的试样清洗并吹干后，在显微镜下观察试样是否存在划痕，若存在划痕，重复步骤S2；

步骤S4：电解抛光，对试样进行电解抛光，采用的电解液配比为：醋酸850～1200ml、高氯酸65～80ml；抛光电压为：38～45V；电解抛光后观察试样表面是否存在烧伤，若存在烧伤，重复步骤S2和步骤S3；

步骤S5：电镜观察，采用扫描电镜进行观察试样，电压为25KV，光澜选择为60um；调整载物台，使得试样观察面与垂直方向呈70°；采用二次电子观察，通过调整载物台距离，使试样表面放大300倍时聚焦清楚后的工作距离为7.0mm～9.5mm；

步骤S6：图像扫描，使用扫描电镜上附带的EBSD探头对试样进行晶粒度显示扫描。

2.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：步骤S1中，切割取样采用精密切割机，切割后的试样高度为5mm，检查面大小为10mm×10mm，上下表面相互平行。

3.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：步骤S2中打磨包括粗磨，采用320#碳化硅砂纸进行第一道粗磨，直至待检面上的切割痕迹完全消失；采用500#碳化硅砂纸进行第二道粗磨，直至第一道磨痕完全消失。

4.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：步骤S2中打磨包括精磨，分别采用800#和1000#碳化硅砂纸进行两次精磨，直至上一道磨痕完全消失。

5.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：步骤S2中抛光采用氧化铝悬浮液进行抛光，直至精磨磨痕完全消失。

6.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：所述步骤S3中采用Leica STP6000光学金相显微镜进行划痕检查。

7.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：所述步骤S4中，采用的电解液配比为：醋酸1000ml、高氯酸75ml；抛光电压为：40V。

8.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：所述步骤S4中，采用的电解液配比为：醋酸850ml、高氯酸65ml；抛光电压为：38V。

9.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：所述步骤S4中，采用的电解液配比为：醋酸1200ml、高氯酸80ml；抛光电压为：45V。

10.如权利要求1所述的一种用于钛合金晶粒度显示的方法，其特征在于：所述步骤S4中，EBSD探头对试样进行晶粒度显示扫描步骤为：

调整EBSD探头，使得EBSD探头与试样表面的水平距离在10mm～15mm，根据试样的锻造或轧制方向选择对应的坐标系；

依次点击采集图像，观察试样表面的菊池花样是否清晰；

如果不清晰，重复步骤S4和步骤S5；

如果清晰，则观察信号强度是否大于85％，如果信号强度小于85％，则增加电压至大于25KV和选择大于60um的电镜光澜。