[发明专利]一种红绿蓝三波长二分之一波片及该波片的制造方法

说明书

一种红绿蓝三波长二分之一波片及该波片的制造方法，该二分之一波片包括一层用于通过红绿蓝光源的波长的二分之一波片本体、一设于所述二分之一波片本体外周沿上的光轴入射面、一设于所述二分之一波片本体内的光轴、至少一设于所述二分之一波片本体一侧上的第一通光面，在本发明中，通过将石英晶体加工成红绿蓝三色光都能获得二分之一波片效果的厚度，并且在石英晶体的表面镀上红绿蓝三色增透膜，增透膜用于减少表面反射损失，该二分之一波片为高功率低级波片，损伤阈值高，具有易于加工，成本非常低，适合批量化生产的特点。

技术领域

本发明涉及激光领域，尤其是指一种红绿蓝三波长二分之一波片及该波片的制造方法。

背景技术

二分之一波片是偏振光路中经常使用的一种光学器件，在光路中线偏振光垂直入射到二分之一波片透射光仍然是线偏振光。假如入射时振动面和晶体光轴之间的夹角为θ，则透射出来的线偏振光的振动面从原来的方位角转过2θ角。例如当θ=45°时，则利用二分之一波片可使得偏振光旋转90°偏振角度。因此，二分之一波片广泛运用于激光系统的偏振合束器件中。在激光系统中，尤其是在红绿蓝三波长的组合激光系统中，要求高透过率，高相位延迟精度，高损伤阈值的二分之一波片，目前采用较多的是石英晶体与氟化镁晶体组合而成的消色差波片或者中心波长为绿光的零级二分之一波片。

采用中心波长为绿光的零级二分之一波片，结构为：由两片光轴正交的石英晶体波片光胶或胶合配对而成，其波片厚度差刚好为真零级波片厚度，此种波片虽然可以保证绿光的效果，但是在红光和蓝光处的相位延迟比较差。

现有红绿蓝三波长消色差二分之一波片，结构为：由一片石英晶体波片和氟化镁晶体波片，加工到配对厚度，然后进行光胶配对或者装空气系金属支架配对，要求配对的两种不同材料的波片光轴成90°正交，才能达到理想效果，因此配对加工非常繁琐。另一方面这种加工工艺对配对波片的厚度控制要求非常严格，由于氟化镁晶体材料的硬度比石英要软，控制抛光厚度非常困难，给加工带来很大困扰。同时氟化镁晶体材料的价格本身非常昂贵，批量化生产成本非常高。

发明内容

本发明提供一种红绿蓝三波长二分之一波片及该波片的制造方法，其主要目的在于克服现有使用石英晶体和氟化镁晶体组合作为二分之一波片本体，氟化镁晶体材料的价格本身非常昂贵且氟化镁不易抛光的缺陷。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种红绿蓝三波长二分之一波片，包括一层用于通过红绿蓝光源的波长的二分之一波片本体、至少一设于所述二分之一波片本体一侧上的第一通光面，所述第一通光面包括至少一设于所述二分之一波片本体一侧的第一抛光面以及复数层设于所述第一抛光面远离所述二分之一波片本体一侧上的第一增透膜，所述光轴的一端设于所述光轴入射面上，所述光轴的另一端延伸至所述二分之一波片本体内，所述光轴与所述第一抛光面相平行，通过设置所述二分之一波片本体为石英晶体材料制成，降低加工难度、减少二分之一波片本体的造价成本、提高加工效率，适用于批量化生产，第一抛光面上设置用于通过红绿蓝光源的波长的第一增透膜，减少红绿蓝光源在二分之一波片本体表面的反射损失，提高二分之一波片的损伤阀值，延长二分之一波片的使用寿命。

进一步的，还包括至少一设于所述二分之一波片本体另一侧上的第二通光面，所述第二通光面包括至少一设于所述二分之一波片本体另一侧上的第二抛光面、复数层设于所述第二抛光面上远离所述二分之一波片本体一侧的第二增透膜，所述第二增透膜相对所述第一增透膜设置，所述光轴与所述第二抛光面相平行，所述第二增透膜用于通过红绿蓝光源的波长。

进一步的，所述第一增透膜镀设在所述第一抛光面上，所述第一增透膜用于抗激光损伤。

进一步的，所述光轴与所述第一通光面之间的夹角为X，所述X的角度为45°。

进一步的，所述第二增透膜镀设在所述第二抛光面上，所述第二增透膜用于抗激光损伤。

进一步的，所述光轴与所述第二通光面之间的夹角为Y，所述Y的角度为45°。