[发明专利]一种磁控折射率光学薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111409167.X 申请日: 2021-11-25
公开(公告)号: CN114226198A 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 张遒姝;彭倍;文盼;郭志浩 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: B05D5/06 分类号: B05D5/06;B05D7/24;B05D1/00;B05D3/02;B05D3/00;G02B1/10
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 邓黎
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 折射率 光学薄膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种磁控折射率光学薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1.将质量比为10:1-1.5的PDMS预聚物和固化剂混合,得到PDMS混合物;

S2.将步骤S1所得PDMS混合物与有机溶剂按质量比为1:1-1.2的比例充分混合,获得PDMS混合溶液;

S3.在步骤S2所得PDMS混合溶液中加入磁性纳米颗粒,磁性纳米颗粒的质量百分含量范围为0.5%-2.5%;混合方式为:首先用玻璃棒搅拌1-5分钟,然后放置于超声波振荡器中振荡10-30分钟,最后使用涡旋混匀器振荡1-3分钟,得到PDMS-磁性纳米颗粒混合溶液;

S4.将基片放入清洗液中,使用超声波清洗器清洗,然后烘干备用;

S5.将步骤S4的基片放置于匀胶机样品台中心位置固定,取步骤S3获得的PDMS-磁性纳米颗粒混合溶液滴于硅基片中心部位进行旋涂,得到厚度为4-500微米的PDMS-磁性纳米颗粒复合材料未固化涂膜;

S6.将步骤S5获得的PDMS-磁性纳米颗粒复合材料未固化涂膜置于恒温箱中进行固化处理,待涂膜完全固化后即获得磁控折射率光学薄膜。

2.如权利要求1所述的一种磁控折射率光学薄膜的制备方法,其特征在于,所述磁性纳米颗粒为四氧化三铁或羰基铁。

3.如权利要求2所述的一种磁控折射率光学薄膜的制备方法,其特征在于,进行固化处理时,温度设置为50-100℃,时间设置为24-36小时。

4.如权利要求2所述的一种磁控折射率光学薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S2中所述有机溶剂为甲苯、氯仿、或氯苯。

5.如权利要求2所述的一种磁控折射率光学薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S4中所述基片为硅基片、SU-8片、玻璃片或石英片。

6.如权利要求2所述的一种磁控折射率光学薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S4中所述清洗液为甲苯或丙酮。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学,未经电子科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111409167.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top