[发明专利]一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法

权利要求书

1.一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法，其特征在于，包括:

在晶圆上采集模板图像，在所述模板图像中提取模板；

按预设方向移动晶圆并采集目标图像，根据所述模板在所述目标图像中进行模板匹配以获得匹配位置，获取所述模板和匹配位置之间的目标位移，将所述目标图像作为所述模板图像，进行下一次的所述提取模板和模板匹配以获得另一所述目标位移，当满足预设停止条件时停止采集图像和提取模板；

根据累积的所述目标位移和晶圆实际位移获取所述实际像素尺寸。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设方向包括正向和反向，进行往返式匹配以获得所述实际像素尺寸，所述进行往返式匹配以获得所述实际像素尺寸包括：

先进行首轮正向的所述模板匹配以获得至少一个像素尺寸测量值，再进行一轮反向匹配获得相应轮的像素尺寸测量值以完成一组往返式匹配，然后根据各轮的所述像素尺寸测量值的统计结果获得所述实际像素尺寸，其中，所述首轮正向的所述模板匹配包括多次所述模板匹配。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在完成一组往返式匹配后，进行其他轮的正向匹配和/或反向匹配获得相应轮的像素尺寸测量值，然后根据各轮的所述像素尺寸测量值的统计结果获得所述实际像素尺寸。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，保存首轮正向的所述模板匹配使用的模板，其中，进行所述反向匹配获得相应轮的像素尺寸测量值包括：

按反向到与所述首轮正向相同的至少一个位置重新采集目标图像，使用与所述首轮正向的所述模板匹配相同的模板到相应的所述重新采集的目标图像中进行模板匹配，以获得更新的匹配位置及更新的目标位移，根据所述更新的目标位移替换所述首轮正向的所述模板匹配时的相应的目标位移以获得相应轮的像素尺寸测量值。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，保存首轮正向的所述模板匹配使用的模板，其中，进行所述正向匹配获得相应轮的像素尺寸测量值包括：

按正向到与所述首轮正向时相同的至少一个位置重新采集目标图像，使用与所述首轮正向的所述模板匹配相同的模板到相应的所述重新采集的目标图像中进行模板匹配，以获得更新的匹配位置及更新的目标位移，根据所述更新的目标位移替换所述首轮正向的所述模板匹配时的相应的目标位移以获得相应轮的像素尺寸测量值。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述模板图像中提取模板包括：

提取所述模板图像中满足预设提取条件的子模板，所述子模板包括子图像和/或独立特征点；

采用若干个所述子模板作为所述模板。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述采用若干个所述子模板作为所述模板包括：

判断所述子模板的数量和/或类型是否符合预设要求，若是，则采用符合所述预设要求的若干个子模板作为所述模板。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述采用若干个所述子模板作为所述模板包括：

若所述模板图像中仅包括所述子图像，则采用达到或超过预设的子图像数量阈值u的所述子图像作为所述模板；若所述模板图像中仅包括所述独立特征点，则采用达到或超过预设的独立特征点数量阈值v的所述独立特征点作为模板；若所述模板图像中同时包括所述子图像和独立特征点，则采用当所述子模板和独立特征点数量之和达到或超过预设的总数量阈值w时的所述子模板和独立特征点作为所述模板，或者采用达到或超过预设的子图像数量阈值u的所述子图像作为所述模板，或者采用达到或超过预设的独立特征点数量阈值v的所述独立特征点作为所述模板。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述子图像数量阈值u小于所述独立特征点数量阈值v，所述总数量阈值w位于所述子图像数量阈值u和独立特征点数量阈值v之间。