[发明专利]载台及检测装置

权利要求书

1.一种载台，用于曲面盖板，所述曲面盖板包括平直区和位于所述平直区至少一侧且与所述平直区相邻的弯曲区，其特征在于，所述载台包括：

载台本体；以及

多个吹气口，设于所述载台本体的表面上，所述吹气口包括第一吹气口和第二吹气口；

其中，所述第一吹气口流出的气流作用于所述平直区，所述第二吹气口流出的气流作用于所述弯曲区，以使所述曲面盖板相对所述载台本体悬浮于所述载台本体上方。

2.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，所述载台本体包括对应于所述平直区的第一平面，所述第一吹气口和所述第二吹气口均设于所述第一平面上，所述第一吹气口的延伸方向垂直于所述第一平面，所述第二吹气口的延伸方向与所述第一平面交叉但不垂直。

3.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，所述载台本体包括对应于所述平直区的平直部和对应于所述弯曲区的弯曲部，所述第一吹气口设于所述平直部，所述第二吹气口设于所述弯曲部；

优选地，所述第一吹气口流出的气流保持与所述平直区相垂直，所述第二吹气口流出的气流保持与所述弯曲区相垂直。

4.根据权利要求3所述的载台，其特征在于，多个所述第一吹气口在所述平直部呈阵列排布；

多个所述第二吹气口在所述弯曲部呈阵列排布。

5.根据权利要求3或4所述的载台，其特征在于，所述弯曲部包括位于所述平直部沿第一方向相对两侧的第一曲面部；

位于所述平直部相对两侧的两个所述第一曲面部的弯曲方向相对设置。

6.根据权利要求5所述的载台，其特征在于，所述弯曲部还包括位于所述平直部沿第二方向相对两侧的第二曲面部；

位于所述平直部相对两侧的两个所述第二曲面部的弯曲方向相对设置；

其中，所述第一方向与所述第二方向交叉。

7.根据权利要求1至4任一项所述的载台，其特征在于，所述第一吹气口的数量，大于所述第二吹气口的数量；

优选地，所述第一吹气口流出的气流流量，大于所述第二吹气口流出的气流流量。

8.根据权利要求1至4任一项所述的载台，其特征在于，所述载台还包括至少部分地围绕所述载台本体设置的缓冲件；

所述缓冲件具有相对所述载台本体的外表面凸出设置的承托面。

9.根据权利要求1至4任一项所述的载台，其特征在于，所述载台还包括底座，所述底座包括支承面和多个与所述支承面相连的侧壁面；

所述载台本体设于所述支承面上，其中至少一个所述侧壁面上设有与所述吹气口连通的进气口。

10.一种检测装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至9任一项所述的载台。