[发明专利]一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法

说明书

本发明提出一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法，包括腔体和位于腔体上的左侧门、右侧门，还包括压印单元，检测单元和传输单元；检测单元位于腔体右侧，与右侧门相邻，包括晶圆托盘，XY轴位移平台，膜厚检测探头；传输单元位于压印单元和检测单元之间，简化测试流程，提高工作效率，避免遗漏缺陷，实现检测自动化节约人力物力。

技术领域

本发明涉及纳米压印技术领域，尤其涉及一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法。

背景技术

纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。随着纳米压印技术的飞速发展，纳米压印产品尺寸越来越大，但元件的临界尺寸越来越小，肉眼很难分辨出产品中存在的缺陷，如果压印产品结构精度与原始模具偏差超出容差值，那么该产品无法用于刻蚀流程，传统的测试只能做到抽检，且时间长，效率低。

发明内容

本发明的目的在于克服以上技术缺陷，提出一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法，简化测试流程，提高工作效率。

本发明为实现其技术目的所采取的技术方案是：一种可测结构精度的纳米压印设备，包括腔体和位于所述腔体上的左侧门、右侧门，还包括压印单元，检测单元和传输单元；

所述压印单元位于所述腔体左侧，与所述左侧门相邻，所述压印单元包括上下两部分，上部分包括压板和夹具，在所述压板和夹具之间还设有软模具，所述软模具依靠真空吸附在所述压板上，所述夹具依靠磁力吸附固定在所述压板上，所述夹具将所述软模具夹紧固定；

所述压板通过支架固定在所述腔体顶部，在所述腔体顶部、所述压板正上方还设有紫外灯，所述压板中间设有用于通过紫外线的透明部分，所述夹具中间设置镂空部分；

所述压印单元下部分包括上下移动装置，在所述上下移动装置上方安装有加热装置和托盘，在所述托盘上方通过真空吸附有基片；

所述检测单元位于所述腔体右侧，与所述右侧门相邻，包括晶圆托盘，位移平台，检测探头；所述传输单元位于压印单元和检测单元之间，包括机械手，真空吸附基板。

优选的，所述压板中间的透明部分宽度与所述托盘宽度一致。

优选的，所述夹具中间的镂空部分宽度大于所述托盘宽度。

优选的，所述位移平台为XY轴位移平台，所述检测探头为膜厚检测探头。

一种可测结构精度的纳米压印设备，其压印方法包括如下步骤：

A、右侧门打开，原始模具放入检测单元晶圆托盘；

B、膜厚检测探头根据设定好的路径，在XY轴位移平台上移动，测试多点结构深度，并实时传输到电脑上；

C、机械手臂运动，真空吸附原始模具，然后移动到压印单元内托盘上，机械手臂回到原位；

D、压印单元执行复制流程，左侧门打开，固定PET，然后点胶，托盘缓慢向上移动；

E、直至胶均匀覆盖在原始模具表面，随后紫外灯对胶进行固化；

F、固化完成后脱模，脱模后将原始模具从左侧门取出；

G、左侧门关闭，右侧门开启，压印基片放入检测单元托盘，膜厚检测探头按程序测试相同点位基片厚度，并实时传输到电脑上，保证基片平整度符合压印要求；

H、机械手臂运动，真空吸附基片，然后移动到压印单元内托盘上，机械手臂回到原位；

I、压印单元执行复制流程，左侧门打开，固定PET，然后点胶，托盘缓慢向上移动；

J、直至胶均匀覆盖在原始模具表面，随后紫外灯对胶进行固化；