[发明专利]异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构

权利要求书

1.一种靶材清理机构，其特征在于，包括：

清理环，所述清理环设有安装腔；

至少两个清理件，至少两个所述清理件均设置于所述安装腔内并与所述清理环连接，至少两个所述清理件环绕所述清理环的周向设置并围设成与靶材的外部轮廓相匹配的清理腔；及

驱动组件，所述驱动组件与所述清理环传动连接，以驱动所述清理环沿所述靶材的延伸方向往复移动。

2.根据权利要求1所述的靶材清理机构，其特征在于，所述靶材清理机构还包括触发元件，所述触发元件与所述驱动组件电性连接，所述触发元件用于检测所述靶材的工作状态。

3.根据权利要求2所述的靶材清理机构，其特征在于，所述触发元件包括用于对所述靶材的图像进行采集的图像采集器，所述图像采集器与所述驱动组件电性连接。

4.根据权利要求2所述的靶材清理机构，其特征在于，所述触发元件包括用于对所述靶材的电气信号进行检测的电信号检测器，所述电信号检测器与所述驱动组件电性连接。

5.根据权利要求1至4任一项所述的靶材清理机构，其特征在于，所述驱动组件包括伸缩件，所述伸缩件设有沿所述靶材的延伸方向往复移动的伸缩端，所述伸缩端与所述清理环连接。

6.根据权利要求5所述的靶材清理机构，其特征在于，所述驱动组件还包括旋转件，所述旋转件设有相对间隔设置的安装端及旋转端，所述安装端与所述伸缩端连接，所述旋转端与所述清理环连接以使所述清理环绕所述清理环的中心轴线转动。

7.根据权利要求1至4任一项所述的靶材清理机构，其特征在于，至少两个所述清理件中，至少部分所述清理件与所述清理环转动连接。

8.根据权利要求1至4任一项所述的靶材清理机构，其特征在于，所述靶材清理机构还包括至少两个弹性复位件，至少两个所述弹性复位件与至少两个清理件一一对应设置；其中，所述弹性复位件的一端与所述清理环连接，所述弹性复位件的另一端与对应的所述清理件连接。

9.根据权利要求1至4任一项所述的靶材清理机构，其特征在于，所述清理件至少包括清理刷或清理喷头中的一种。

10.一种异质结太阳电池生产系统，其特征在于，包括靶材及用于对所述靶材进行清理的如权利要求1至9任一项所述的靶材清理机构。