[发明专利]异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构

说明书

本发明涉及一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构，需要对靶材进行清理时，驱动组件带动清理环沿靶材的延伸方向移动，从而使得靶材插入清理腔内，进而能够利用至少两个清理件对靶材的表面进行清理，能够将搭在靶材与挡板之间的破损的硅片的碎片进行清理，避免靶材发生短路；同时，还能够对靶材表面上的粉尘进行清理，减少溅射过程中的原核点，还能减少靶材结瘤，提高镀膜品质，生产的薄膜的性能优良；并且，不需进行降温开腔清理，从而不需在清理后进行抽真空与升温，生产效率高，提高了产能。

技术领域

本发明涉及光伏技术领域，特别是涉及一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构。

背景技术

异质结太阳电池生产过程中，通常采用磁控溅射方法对硅片镀ITO(Indium tinoxide，氧化铟锡)膜层。为了降低成本，需要对硅片的厚度进行降低，而硅片的厚度降低后，进行镀膜时，硅片易破碎，破碎的硅片会搭在腔体与靶材之间而导致靶材短路。为了避免靶材短路，传统的方式为开腔进行清理，降低了生产效率。

发明内容

基于此，有必要针对生产效率低的问题，提供一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构。

其技术方案如下：

一方面，提供了一种靶材清理机构，包括：

清理环，所述清理环设有安装腔；

至少两个清理件，至少两个所述清理件均设置于所述安装腔内并与所述清理环连接，至少两个所述清理件环绕所述清理环的周向设置并围设成与靶材的外部轮廓相匹配的清理腔；及

驱动组件，所述驱动组件与所述清理环传动连接，以驱动所述清理环沿所述靶材的延伸方向往复移动。

下面进一步对技术方案进行说明：

在其中一个实施例中，所述靶材清理机构还包括触发元件，所述触发元件与所述驱动组件电性连接，所述触发元件用于检测所述靶材的工作状态。

在其中一个实施例中，所述触发元件包括用于对所述靶材的图像进行采集的图像采集器。

在其中一个实施例中，所述触发元件包括用于对所述靶材的电气状况进行检测的电信号检测器。

在其中一个实施例中，所述驱动组件包括伸缩件，所述伸缩件设有沿所述靶材的延伸方向往复移动的伸缩端，所述伸缩端与所述清理环连接。

在其中一个实施例中，所述驱动组件还包括旋转件，所述旋转件设有安装端及旋转端，所述安装端与所述伸缩端连接，所述旋转端与所述清理环传动连接以使所述清理环绕所述清理环的中心轴线转动。

在其中一个实施例中，至少两个所述清理件中，至少部分所述清理件与所述清理环转动连接。

在其中一个实施例中，所述靶材清理机构还包括至少两个弹性复位件，至少两个所述弹性复位件与至少两个清理件一一对应设置；其中，所述弹性复位件的一端与所述清理环连接，所述弹性复位件的另一端与对应的所述清理件连接。

在其中一个实施例中，所述清理件至少包括清理刷或清理喷头中的一种。

另一方面，提供了一种异质结太阳电池生产系统，包括靶材及用于对所述靶材进行清理的所述的靶材清理机构。

上述实施例的异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构，需要对靶材进行清理时，驱动组件带动清理环沿靶材的延伸方向移动，从而使得靶材插入清理腔内，进而能够利用至少两个清理件对靶材的表面进行清理，能够将搭在靶材与挡板之间的破损的硅片的碎片进行清理，避免靶材发生短路；同时，还能够对靶材表面上的粉尘进行清理，减少溅射过程中的原核点，还能减少靶材结瘤，提高镀膜品质，生产的薄膜的性能优良；并且，不需进行降温开腔清理，从而不需在清理后进行抽真空与升温，生产效率高，提高了产能。

附图说明