[发明专利]收纳装置、曝光装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种收纳装置，该收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版，其特征在于，

上述收纳装置具有：

第1供给部，该第1供给部以形成第1气流以及第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体，上述第1气流沿着上述原版的与上述图案面相反侧的第1面，上述第2气流沿着保护构件的与上述图案面那侧相反侧的第2面，上述保护构件与上述图案面分离设置并保护上述图案面；

第2供给部，该第2供给部以形成第3气流的方式吹出并供给气体，上述第3气流与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流干涉；以及

构件，该构件包括与从上述第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由上述第2供给部形成的上述第3气流的接受面，

上述第1供给部以用于搬送上述原版的搬送口为基准而配置在收纳上述原版的收纳空间的进深侧，

上述第2供给部以上述搬送口为基准而配置在上述收纳空间的近前侧。

2.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述第1供给部以作为上述至少一方气流形成从上述收纳空间的进深侧朝向上述收纳空间的近前侧的一个方向的气流的方式吹出并供给气体。

3.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述第2供给部以作为上述第3气流形成与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流碰撞的气流的方式吹出并供给气体。

4.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述构件以上述接受面在与上述图案面正交的方向上位于比上述第2面靠下方的位置的方式配置。

5.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述构件以在与上述图案面正交的方向上的上述接受面与上述第2供给部的气体的吹出口之间的距离为10mm以上且500mm以下的方式配置。

6.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述接受面相对于上述保护构件的上述第2面在沿着上述第2面的方向上在自上述第2面起向外侧为0mm以上且300mm以下的范围内延伸。

7.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述第1供给部以形成上述第1气流以及上述第2气流的方式吹出并供给气体，

上述第3气流的流量小于上述第1气流的流量与上述第2气流的流量之和。

8.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述接受面包括向上述第2供给部那侧突出的凸部。

9.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述第1供给部以仅形成上述第1气流的方式吹出并供给气体，

上述收纳装置还具有第3供给部，该第3供给部与上述保护构件的上述第2面相向地设置，并朝向上述第2面吹出并供给气体。

10.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述收纳装置还具有第4供给部，该第4供给部设于上述构件，并以形成第4气流的方式吹出并供给气体，上述第4气流与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流干涉且与由上述第2供给部形成的上述第3气流相向。

11.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述收纳装置收纳多个上述原版，

相对于上述原版分别设置有上述第2供给部以及上述构件。

12.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

上述气体包括湿度为1％以下的气体。