[发明专利]自动化质量管控系统、方法及计算机可读存储介质

说明书

本发明提供一种自动化质量管控系统、方法及计算机可读存储介质，通过规格制定模块、规格调整模块、规格改善模块及异常反馈模块，实现各制程参数规格的制定、调整及改善，最终形成的参数规格对各个制程进行准确管控，准确有效地对各制程进行分工安排。进一步的，本发明提供的自动化质量管控系统在参数规格的制定、调整及改善阶段均可以客制化改进，满足客户质量要求，从严卡控，并不断自我改善，使工程师的日常工作更加高效便捷。另外，本发明提供的自动化质量管控系统能够根据工程师的需求进行预计算，相比人工计算，会降低由于主观因素造成的错误，提高预计算的准确性。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种自动化质量管控系统、方法及计算机可读存储介质。

背景技术

对于晶圆代工行业而言，随着厂能提升，产品种类和产品规格日益丰富，产品品质管控形势日渐严俊，其中最重要的一环就是借助数理统计方法的统计过程控制（SPC）进行数据分析和产品控制，从数据角度分析工艺生产的问题，及时改善工艺，实现品质管控的目的。利用过程控制工具需制定详细的规格，当前各晶圆代工厂规则多参照以下五个方面：1产品类型；2站点；3机台类型；4量测类型；5制程。一般而言，为排除其他方面的干扰，单一产品类型，单一站点，单一类型机台，单一量测类型为一条规格。图1为一半导体制程中产品参数规格（SPEC）的建立流程，如图1所示，首先，获取客户提供的产品规格，然后确定半导体产品的制程（FLOW），接着，人工建立产品规格，并在产品试运行（Pi-Run）和预运行（Pro-Run）阶段人工调整产品规格，获取产品规则。上述产品规则的制定过程中，在人工建立和调整产品规格步骤繁琐，耗时长，耗费人力，且人工手动调整可能会由于主观因素造成规格参数制定的不准确，影响品质监控的准确性，在后续进行问题追踪时，不利于工程单位进行快速查找并解决问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动化质量管控系统、方法及计算机可读存储介质，以提高品质监控的准确性。

为实现上述目的，本发明提供一种自动化质量管控系统，其特征在于，包括：

规格制定模块，用于结合客户的产品规格要求和产品生产规则客制化制定产品在各制程的参数规格；

规格调整模块，用于在试运行期间利用6Sigma管理办法对各制程的参数规格进行调整，同时结合各制程间的相关性，使用标准差推算各制程的参数规格的界限。

规格改善模块，用于在预运行期间根据正态分布及3Sigma原理对各制程的参数规格进行改进，并对改进后的各制程的参数规格进行预计算；以及，

异常反馈模块，用于不间断反馈各制程的异常事件至所述规格改善模块，以持续改善产品各制程的参数规格。

可选的，所述规格制定模块，还用于在客制化制定产品在各制程的参数规格之前结合客户的产品规格要求和生产规则制定失效模式与影响分析报告。

可选的，根据指定的所述失效模式与影响分析报告，确定各制程的参数规格的参考值，并在所述参考值的基础上内缩一定比例作为制定各制程的参数规格的界限的基准点。

可选的，在所述参考值的基础上内缩90%作为制定各制程的参数规格的界限的基准点。

可选的，对各制程的参数规格进行预计算包括：按季度对各制程的参数规格进行预计算。

可选的，所述制程包括曝光、蚀刻及清洗，其中，曝光制程中的参数规格界线小于蚀刻制程中的参数规格界线，蚀刻制程中的参数规格界线小于清洗制程中的参数规格界线。

本发明还提供一种自动化质量管控方法，包括：

采用上述任一项所述的自动化质量管控系统制定各制程的参数规格；

按照各制程的参数规格进行产品的量产收集试运行期间和预运行期间的生产控制系统产生的第一数据资料；