[发明专利]一种量子点光转换器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111515363.5 申请日: 2021-12-13
公开(公告)号: CN114242924B 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 邹胜晗;龚政;潘章旭;郭婵;王建太;胡诗犇;庞超;陈志涛 申请(专利权)人: 广东省科学院半导体研究所
主分类号: H10K71/00 分类号: H10K71/00;H10K59/38;H01L33/00;H01L33/50
代理公司: 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 代理人: 宋南
地址: 510651 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 量子 转换 器件 及其 制备 方法
【说明书】:

本申请提供了一种量子点光转换器件及其制备方法,涉及量子点领域。该制备方法包括:首先,提供一制备基底,并在制备基底上制备图案化的光刻胶印章,其中,图案化的光刻胶印章包括多个间隔设置的光刻胶柱;再者,在光刻胶柱表面制备金属薄膜,在金属薄膜上制备第一色彩聚合物薄膜;最后,提供一目标基底,将目标基底与光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连,经过预设时间后,将光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜与金属薄膜剥离,以在目标基底的表面形成图案化的第一色彩量子点,形成单色量子点光转换器件。该方法不损害量子点材料的光学性能小,具有良好的适用性,可以根据需要制作微米级厚度的量子点,并且分辨率较高。

技术领域

发明涉及量子点领域,具体而言,涉及一种量子点光转换器件及其制备方法。

背景技术

量子点具有色纯度高、发射波长易调、量子产率高以及可溶液加工等优异特性,可广泛应用于显示、照明、生物标记等领域。

目前的量子点图案化的方法主要采用光刻法、转印法和喷墨打印法,但是,现有的方法往往存在诸多弊端。例如:光刻工艺一般包括曝光、显影、刻蚀和极性溶剂冲洗等步骤,对量子点材料的光学性能均存在较大损伤,因此该方法适用性较差;转印法得到的薄膜厚度太薄,无法实现有效的蓝光吸收,不适用于制备光转换的量子点薄膜;传统的喷墨打印法无法达到较高的分辨率,且可能存在咖啡环效应以及薄膜形貌不均匀的情况。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种量子点光转换器件及其制备方法,其能够至少部分改善上述问题。

为了实现上述目的,本发明实施例采用的技术方案如下:

第一方面,本申请提供了一种量子点光转换器件的制备方法,所述方法包括:

提供一制备基底;

在所述制备基底上制备图案化的光刻胶印章,其中,图案化的光刻胶印章包括多个间隔设置的光刻胶柱;

在所述光刻胶柱表面制备金属薄膜;

在所述金属薄膜上制备第一色彩聚合物薄膜;

提供一目标基底,将所述目标基底与所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连,经过预设时间后,将所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离,以在所述目标基底的表面形成图案化的第一色彩量子点,形成单色量子点光转换器件。

可选的,所述方法还包括:

在所述金属薄膜上制备所述第二色彩聚合物薄膜;

将所述单色量子点光转换器件与所述光刻胶柱端部的第二色彩聚合物薄膜粘连,经过预设时间后,将所述光刻胶柱端部的第二色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离,以在所述单色量子点光转换器件的表面形成图案化的第二色彩量子点,其中,所述第一色彩量子点与所述第二色彩量子点间隔设置,形成多色量子点光转换器件。

可选的,将所述目标基底与所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连的步骤包括:

在所述目标基底上设置有粘附层,所述目标基底通过所述粘附层与所述第一色彩聚合物薄膜粘连。

可选的,在所述金属薄膜上制备第一色彩聚合物薄膜的步骤之后,所述方法还包括:

提供一透明粘附层;

将所述透明粘附层的第一面与所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连,经过预设时间后,将所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离,以在所述透明粘附层的第一面形成图案化的第一色彩量子点;

在将所述透明粘附层的第二面与所述目标基底结合,形成所述单色量子点光转换器件。

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