[发明专利]一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用

说明书

本发明公开一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用，其中的蒸发浓缩装置包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件；所述外壳体的内腔为一级真空腔体，所述内壳体的内腔为二级真空腔体，所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接；所述内壳体设置在所述一级真空腔体中，所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件，所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部，所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上；所述二级真空腔体中设有用于固定装有样品的烧杯的固定架。本发明实现对超净高纯电子化学品的蒸发浓缩，且快速高效，维护成本低。

技术领域

本发明涉及一种超净高纯电子化学品的检测设备，具体涉及一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用。

背景技术

随着超大规模集成电路技术的迅猛发展，特征尺寸的减小和集成度的迅速提高，电子工业使用的电子化学品及超净高纯溶剂中金属杂质含量以及其他杂质含量要求变得日益严格。

在对超净高电子化学品的金属杂质或其他杂质含量进行检测时，有时需要对样品进行前处理，以提高检测准确度、提高方法检测限；例如，在采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)检测样品之前，有时需要对样品进行蒸发浓缩，才能上机测试。现有技术中，对于电子化学品的检测前处理的蒸发浓缩处理，一般是在简单的实验室条件下进行，但这样会引入空气中所含的金属杂质、灰尘、微粒等，导致样品被Na，K，Mg,Ca等金属杂质污染，影响后续的检测结果；而若在超净间中进行，虽然能避免引入新的杂质污染，但超净间造价较高，建设周期较长，且需要一定的维护成本；另外，在对超净高电子化学品进行蒸发浓缩时，可能会蒸发出腐蚀性气体，若采用常规的容器进行蒸发浓缩，则会造成内腔被腐蚀，杂质溶出，影响后续样品检测准确度。

发明内容

本发明目的在于克服现有技术的不足，提供一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置，该装置实现对样品的蒸发浓缩，快速高效，且不会引入空气中新的杂质，维护成本低。

本发明的另一目的在于提供上述超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置的应用。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置，包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件；所述外壳体的内腔为一级真空腔体，所述内壳体的内腔为二级真空腔体，所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接；所述内壳体设置在所述一级真空腔体中，所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件，所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部，所述内壳体以及所述顶盖密封组件与所述二级真空腔体的对应处均由防腐蚀且低杂质溶出材质制成，所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上。

上述超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置的工作原理是：

首先，打开顶盖密封组件，将装有待蒸发浓缩处理的样品的烧杯放进二级真空腔体中的固定架上，随后盖上所述顶盖密封组件，并锁紧，确保一级真空腔体和二级真空腔体的密封性。紧接着，通过真空抽气设备，先对一级真空腔体进行抽气处理，预先提供一个较为良好的真空环境；随后，再对二级真空腔体进行抽气处理，确保待蒸发浓缩处理的样品位于的二级真空腔体中不存在空气污染。与此同时，加热组件启动，实现对内壳体的二级真空腔体内的样品进行加热，对样品进行蒸发浓缩；在加热蒸发浓缩过程中，真空抽气设备保持对一级真空腔体和二级真空腔体的抽气，将蒸发出来的气体排出，并保持一级真空腔体和二级真空腔体内的洁净，同时在抽气真空状态下，加快样品的浓缩进度，且有利于降低加热功率，缩减成本。

本发明的一个优选方案，所述顶盖密封组件包括外盖和内盖，所述内盖密封设置在所述内壳体的顶部，所述外盖密封设置在所述外盖的顶部，所述内盖设置在所述外盖的下方，所述内盖由防腐蚀且低杂质溶出材质制成；其中，所述外盖与外壳体的顶部边沿之间设有用于锁紧或松开外盖的锁紧组件。