[发明专利]一种有色金属生产用退火炉

说明书

本发明涉及工业技术领域，尤其是一种有色金属生产用退火炉，包括支撑架，其特征在于：所述支撑架的顶部设置有退火炉，所述退火炉顶部的一侧可拆卸连接有排烟管，所述排烟管的内部设置有防倒吹机构与清洁机构，所述排烟管分为上管与下管，所述上管与下管为可拆卸连接，有益效果在于：气泵启动然后气泵产生的气体通过进气管进入膨胀气囊的内部，膨胀气囊的底部设置有排气口且排气口上设置有电磁阀，有利于将膨胀气囊内的气体排出，之后膨胀气囊将圆锥筒与排烟管的缝隙填满，有利于防止外界的风从圆锥筒与排烟管的缝隙进入退火炉。

技术领域

本发明涉及工业技术领域，尤其涉及一种有色金属生产用退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工具，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉通电前先检查电炉的电气性能，并注意加热元件是否有断路或漏电现象，之后接通电源，点动电柜上的按钮，检查炉门、台车、电动推杆是否正常，密封是否严密，待一切就绪后，开启主令开关，工作指示灯亮(绿灯)在加热过程中，各区炉温上升速度会有所不同，但到达设定温度后会逐渐趋于平衡，记录仪会根据升温趋势画出相应曲线，在保温结束后，可根据工艺是打开炉门降温还是随炉冷却，整个工艺结束后，断开主令开关，关闭空气开关。

退火炉上都设置有排烟管，用于将退火炉内部的烟雾排出，但是当外界的风速或者风量较高时，外界的风会通过排烟管倒吹进退火炉的内部，严重危害退火炉的安全工作；并且排烟管由于长期的使用内壁会沾附大量的灰尘与杂质，现有排烟管的内部结构无法自动对沾附的灰尘与杂质清理。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种有色金属生产用退火炉。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

设计一种有色金属生产用退火炉，包括支撑架，其特征在于：所述支撑架的顶部设置有退火炉，所述退火炉顶部的一侧可拆卸连接有排烟管，所述排烟管的内部设置有防倒吹机构与清洁机构，所述排烟管分为上管与下管，所述上管与下管为可拆卸连接。

优选的，所述防倒吹机构包括下管内部中间位置设置的圆锥筒，所述圆锥筒的一端设置有进烟口另一端设置有排烟口，所述进烟口的直径为排烟口直径的三倍，所述圆锥筒的数目为三组，三组所述圆锥筒分布于一条直线，所述下管的内部位于圆锥筒的一侧设置有膨胀气囊，所述，所述膨胀气囊的一端连接有进气管，所述排烟管的外部固定安装有气泵，所述进气管的另一端与气泵连接，所述下管的内部安装有正反电机，所述正反电机的输出端连接有转轴，所述转轴的一端连接有扇叶，所述扇叶位于排烟管内腔的顶部。

优选的，所述支撑架的一侧安装有控制面板，所述控制面板上设置有启动、停止按键与电源开关转钮。

优选的，所述圆锥筒、膨胀气囊与下管为可拆卸连接，所述下管的内部可拆卸连接有支撑板，所述支撑板宽度为排烟管宽度的三分之一，所述正反电机固定于支撑板一端。

优选的，所述清洁机构包括上管底部的凹槽，所述凹槽的内部安装有电磁滑轨，所述电磁滑轨的外部设置有电磁滑块，所述电磁滑块的顶部与凹槽的顶部平齐，所述电磁滑块的顶部固定连接有清洁箱，所述清洁箱一侧的底部固定连接有凸起板，所述凸起板的顶部连接有遮挡罩，所述遮挡罩与凸起板组成储存仓，所述储存仓的高度高于清洁箱，所述遮挡罩的顶部设置有进料口，所述遮挡罩内部的后端安装有四组电动推杆，所述储存仓的内部通过进料口放置有多组刮板，所述清洁箱的一侧设置有多组形变卡块，所述清洁箱通过隔板设置有收集仓，所述清洁箱内部位于收集仓的一侧设置有两组气缸，两组所述气缸的顶部转动连接有磁铁块，所述清洁箱的顶部设置有伸出口，所述清洁箱位于收集仓的顶部设置有下料口，所述伸出口与下料口的中间位置设置有隔栏。