[发明专利]阻抗检测方法、阻抗检测器及系统在审
申请号: | 202111615651.8 | 申请日: | 2021-12-27 |
公开(公告)号: | CN114441856A | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 林伟群;乐卫平;张桂东 | 申请(专利权)人: | 深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
主分类号: | G01R27/08 | 分类号: | G01R27/08;G01R31/40;G01R1/20 |
代理公司: | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人: | 万鹏 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阻抗 检测 方法 检测器 系统 | ||
1.一种阻抗检测方法,其特征在于,包括:
获取待检测电路的电信号数据;
对所述电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;
根据所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据,得到负载阻抗数据。
2.根据权利要求1所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述电信号数据包括电压信号数据和电流信号数据;
所述对所述电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据的步骤包括:
对所述电压信号数据和所述电流信号数据进行校正处理,得到所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据。
3.根据权利要求1所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述根据所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤包括:
将所述电压实部数据与所述电流实部数据进行相乘处理,得到第一中间数值;将所述电压虚部数据与所述电流虚部数据进行相乘处理,得到第二中间数值;
将所述第一中间数值与所述第二中间数值进行和值处理,得到第一和值;
将所述电压实部数据与所述电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第一平方值;将所述电压虚部数据与所述电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第二平方值;
将所述第一平方值与所述第二平方值进行和值处理,得到第二和值;
所述第一和值与所述第二和值进行比值处理,得到负载电阻值。
4.根据权利要求3所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述根据所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤还包括:
将所述电压虚部数据与所述电流实部数据进行相乘处理,得到第三中间数值;将所述电压实部数据与所述电流虚部数据进行相乘处理,得到第四中间数值;
将所述第三中间数值与所述第四中间数值进行差值处理,得到第一差值;
将所述电压实部数据与所述电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第三平方值;将所述电压虚部数据与所述电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第四平方值;
将所述第三平方值与所述第四平方值进行和值处理,得到第三和值;
所述第一差值与所述第三和值进行比值处理,得到负载电抗值。
5.根据权利要求4所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述的所述第一差值与所述第三和值进行比值处理,得到负载电抗值的步骤之后包括:
根据所述负载电阻值和所述负载电抗值,得到所述负载阻抗数据。
6.一种阻抗检测器,其特征在于,包括:
传感器组件,所述传感器组件用于连接待测电路,所述传感器组件被配置为采集电信号数据;
处理器,所述处理器连接所述传感器组件,所述处理器用于执行权利要求1至5任意一项所述的阻抗检测方法。
7.根据权利要求6所述的阻抗检测器,其特征在于,还包括连接所述处理器的显示屏。
8.根据权利要求6所述的阻抗检测器,其特征在于,所述传感器组件包括电压传感器和电流传感器;
所述电压传感器连接所述处理器,所述电压传感器被配置为采集电压信号数据;
所述电流传感器连接所述处理器,所述电流传感器被配置为采集电流信号数据。
9.根据权利要求6所述的阻抗检测器,其特征在于,还包括连接所述处理器的锂电池。
10.一种阻抗检测系统,其特征在于,包括射频电源、阻抗匹配箱、负载和如权利要求6至9任意一项所述的阻抗检测器;
所述阻抗匹配箱的输入端连接所述射频电源,所述阻抗匹配箱的输出端连接所述负载;所述阻抗检测器连接所述阻抗匹配箱的输出端。
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