[发明专利]一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪

权利要求书

1.一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于,包括动镜组件，设置在所述动镜系统前方的分束镜，用于反射入射光或激光的反射镜；

所述动镜组件包括支撑架，安装在所述动镜系统支撑架上的基座，以及安装在所述基座上的动镜系统，所述动镜系统包括四连杆结构，其中所述基座为第一连杆，上端与所述基座两侧联结有等长的第二连杆和第三连杆，所述第二连杆和所述第三连杆的下端联结有动镜部件，所述动镜部件前端为平面镜。

2.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述基座具有用于减重镂空结构的一体成型结构，所述第一连杆和所述第二连杆结构相同且为H型结构，所述H型结构上部两侧安装在所述基座的两侧，所述H型结构下部两侧安装在所述动镜部件两侧。

3.根据权利要求2所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述第一连杆和所述第二连杆为同型一体加工分割结构。

4.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述平面镜为通过金刚石切削车床直接加工形成的平面反射镜结构或者为通过机械结构安装在所述动镜部件前端的平面反射镜结构。

5.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述基座和所述第一连杆及所述第二连杆通过精密轴承联结，所述第一连杆和所述第二连杆与所述动镜部件通过精密轴承联结。

6.根据权利要求5所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述精密轴承为精密角接触微型轴承或柔性铰链轴承。

7.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述动镜部件包括前端的平面镜和后端的与所述平面镜联结的支柱，所述第一连杆和所述第二连杆通过安装在所述支柱上的转轴和所述动镜部件联结。

8.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述动镜部件后部还安装有驱动所述动镜部件前后运动的电机。

9.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述动镜系统前方为所述分束镜，所述分束镜的一侧放置所述反射镜，所述动镜系统的所述平面镜与所述分束镜以及所述反射镜形成迈克尔逊干涉光路。

10.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述光谱仪还包括用于测量并调控所述动镜系统运动参数的探测反馈控制结构，所述探测反馈控制结构包括激光源，所述激光源位于所述动镜部件的上侧，入射光通过设置在光路上的第一反射镜和第二反射镜，入射到所述动镜部件；所述激光器轴线与所述动镜系统轴线平行，所述第一反射镜位于所述激光器发射端前侧，与所述激光器轴线成45度角，所述第二反射镜与所述第一反射镜成45度角，所述分束镜与所述动镜系统的所述平面镜成45度角，所述激光器发射的激光依次经所述激光器、所述第一反射镜、所述第二反射镜及所述分束镜、所述平面镜形成激光直角光回路。