[发明专利]一种通知事件的路由方法和半导体工艺设备

权利要求书

1.一种通知事件的路由方法，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，所述方法包括：

通过N级数据承载容器监测目标系统中变量的变量状态，所述N为大于1的整数；

在检测到所述变量状态满足预设条件的情况下，触发通知事件；

将所述通知事件传递至N-1级数据承载容器，由N-1级数据承载容器处理所述通知事件；所述N-1级数据承载容器对应至少一个N级数据承载容器；

在所述N-1级数据承载容器完成对所述通知事件的处理的情况下，将所述通知事件逐级传递至一级数据承载容器；

通过所述一级数据承载容器对每个所述数据承载容器广播所述通知事件。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述响应于检测到所述变量状态满足预设条件的情况下，触发通知事件之后，所述方法还包括：

判断所述N级数据承载容器是否需要处理所述通知事件；

若不需要，则执行所述将所述通知事件传递至N-1级数据承载容器，由N-1级数据承载容器处理所述通知事件的步骤；

若需要，则由所述N级数据承载容器处理所述通知事件，并进一步判断是否需要将所述通知事件传递至所述N-1级数据承载容器，在需要时，执行所述将所述通知事件传递至N-1级数据承载容器，由N-1级数据承载容器处理所述通知事件的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述通知事件逐级传递至一级数据承载容器，包括：

所述N级数据承载容器和所述一级数据承载容器之间的各级数据承载容器依次判断是否需要向上一级数据承载容器传递所述通知事件，在需要时，才向所述上一级数据承载容器传递所述通知事件。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述N-1级数据承载容器完成对所述通知事件的处理的情况下，将所述通知事件逐级传递至一级数据承载容器，包括：

响应于检测到通知事件被传递，记录所述通知事件被逐级传递至所述一级数据承载容器的传递路径。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述通过所述一级数据承载容器对每个所述数据承载容器广播所述通知事件，包括：

根据传递路径，确定所述一级数据承载容器至所述N级数据承载容器中的各级所述数据承载容器是否需要处理所述通知事件，在需要时，各级所述数据承载容器才处理所述通知事件。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据传递路径，确定所述一级数据承载容器和所述N级数据承载容器和之间的各级所述数据承载容器是否需要处理所述通知事件，包括：

对于任一所述数据承载容器，若该数据承载容器在所述传递路径中，则不需要处理所述通知事件；若该数据承载容器不在所述传播路径中，则需要处理所述通知事件。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述通过N级数据承载容器监测目标系统中变量的变量状态之前，所述方法还包括：

构建所述目标系统中对于所述通知事件的路由机制。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述构建所述目标系统中对于所述通知事件的路由机制，包括：

对应于用户界面中的一级视图层至N级视图层的视图层结构，依次创建由所述一级数据承载容器至所述N级数据承载容器的各级所述数据承载容器，所述一级数据承载容器至所述N-1级数据承载容器中的各级所述数据承载容器对应至少一个下一级所述数据承载容器；

使各级所述数据承载容器订阅下一级所述数据承载容器传递的所述通知事件，形成所述通知事件的路由机制。