[发明专利]一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种识别mask破片及裂纹的检测装置，包括底仓(1)；其特征在于：所述底仓(1)的顶部设有连接板(6)，所述连接板(6)的顶部设有紫外线仓(5)，所述连接板(6)中间位置处的两侧分别设有第一压力传感器(7)和第二压力传感器(9)，所述连接板(6)中间位置处的两端设有引导板(8)，所述连接板(6)的一端面设有辅助移动组件(3)，所述连接板(6)远离辅助移动组件(3)一端的一侧设有传输组件(2)，所述底仓(1)内部底部的一端设有检测组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种识别mask破片及裂纹的检测装置，其特征在于，所述传输组件(2)包括固定在连接板(6)远离辅助移动组件(3)一端一侧的第一固定板(202)及固定设置在第一固定板(202)顶部的第一驱动电机(201)，所述第一驱动电机(201)的输出端设有第四转轴(215)，所述第四转轴(215)靠近第一驱动电机(201)一端的外侧套设有第一皮带轮(203)，所述连接板(6)中间位置处两端的两侧转动设有第一转轴(206)和第二转轴(208)，所述连接板(6)远离第四转轴(215)的一侧设有第三转轴(214)，所述第一转轴(206)靠近第一驱动电机(201)的外侧套设有第二皮带轮(205)和第六皮带轮(217)，所述第二转轴(208)靠近第一驱动电机(201)的外侧套设有第三皮带轮(209)和第四皮带轮(210)，所述第三转轴(214)靠近第一驱动电机(201)的外侧套设有第五皮带轮(212)，所述第一皮带轮(203)和第二皮带轮(205)的外侧套设有第一皮带(204)，所述第三皮带轮(209)和第六皮带轮(217)的外侧套设有第二皮带(207)，所述第四皮带轮(210)和第五皮带轮(212)的外侧套设有第三皮带(211)，所述第一转轴(206)和第四转轴(215)的外侧套设有第二传输带(216)，所述第二转轴(208)和第三转轴(214)的外侧套设有第一传输带(213)。

3.根据权利要求1所述的一种识别mask破片及裂纹的检测装置，其特征在于，所述辅助移动组件(3)包括固定在连接板(6)一端中间位置处的第二固定板(302)及固定在第二固定板(302)顶部的第二驱动电机(301)，所述第二驱动电机(301)的输出端设有第五转轴(306)，所述第五转轴(306)靠近第二驱动电机(301)的外侧套设有第七皮带轮(303)，所述连接板(6)内部中间位置处一侧的两端转动设有第六转轴(307)，所述第六转轴(307)靠近第二驱动电机(301)一端的外侧套设有第八皮带轮(305)，所述第七皮带轮(303)和第八皮带轮(305)的外侧套设有第四皮带(304)，所述第五转轴(306)和第六转轴(307)的外侧套设有辅助移动件(308)。

4.根据权利要求1所述的一种识别mask破片及裂纹的检测装置，其特征在于，所述检测组件(4)包括固定设置在底仓(1)内部底部一端的伺服电机(401)及设置在伺服电机(401)输出端的第二螺纹杆(407)，所述第二螺纹杆(407)底部的外侧套设有第十皮带轮(406)，所述底仓(1)内部远离伺服电机(401)一端的顶部和底部转动设有第一螺纹杆(403)，所述第一螺纹杆(403)底部的外侧套设有第九皮带轮(404)，所述第九皮带轮(404)和第十皮带轮(406)的外侧套设有第五皮带(402)，所述第一螺纹杆(403)和第二螺纹杆(407)的外侧套设有移动板(405)，所述移动板(405)的两侧设有卡环(408)，所述卡环(408)的内部设有红外线影像扫描仪(410)，所述红外线影像扫描仪(410)的四周设有红外线灯(409)。

5.根据权利要求2所述的一种识别mask破片及裂纹的检测装置，其特征在于，所述第一转轴(206)、第二转轴(208)、第三转轴(214)和第四转轴(215)远离第一驱动电机(201)的一端皆设有轴承，且轴承远离第一驱动电机(201)的一端与连接板(6)固定连接。

6.根据权利要求3所述的一种识别mask破片及裂纹的检测装置，其特征在于，所述辅助移动件(308)设有四组，四组所述辅助移动件(308)的中间位置处皆开设有凹槽。