[发明专利]一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法

说明书

本发明公开了一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法，该识别mask破片及裂纹的检测装置，包括底仓；底仓的顶部设有连接板，连接板的顶部设有紫外线仓，连接板中间位置处的两侧分别设有第一压力传感器和第二压力传感器，连接板中间位置处的两端设有引导板，连接板的一端面设有辅助移动组件，连接板远离辅助移动组件一端的一侧设有传输组件，底仓内部底部的一端设有检测组件；本发明通过红外线影像扫描仪上的红外线灯对mask上照射，照射成的图像将会传递给红外线影像扫描仪，若图像中显示mask有裂纹，则红外线影像扫描仪将会把图像传递到电脑终端，提醒工作人员mask故障，若正常则不用传递。

技术领域

本发明涉及裂纹检测领域，尤其涉及一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法。

背景技术

目前TFT-LCD行业中，ODF段(液晶滴注(ODF)制程)紫外线预固化设备使用时，由于紫外线对人体辐射伤害因素，在生产时不能进行开门及观察mask(掩膜板)使用情况，假如mask在上机后异常破裂但未在对应真空吸附未，不会影响机台正常运行。

但是，由于裂纹处的紫外线通过mask遮挡处破坏AA区(有效显示区域)PI膜层，会对产生mura问题，在本段VI宏观检查机不能检查到此异常，只有后端电测后才会发现，反馈周期过长，一旦发生会产生大批量不良品异常，异常影响周期长。

发明内容

本发明目的是：提供一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法，解决了装置无法及时检测到mask上裂纹及无法及时将检测完成的mask及时移出装置的问题。

本发明的技术方案是：一种识别mask破片及裂纹的检测装置，包括底仓；所述底仓的顶部设有连接板，所述连接板的顶部设有紫外线仓，所述连接板中间位置处的两侧分别设有第一压力传感器和第二压力传感器，所述连接板中间位置处的两端设有引导板，所述连接板的一端面设有辅助移动组件，所述连接板远离辅助移动组件一端的一侧设有传输组件，所述底仓内部底部的一端设有检测组件。

更进一步地，所述传输组件包括固定在连接板远离辅助移动组件一端一侧的第一固定板及固定设置在第一固定板顶部的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端设有第四转轴，所述第四转轴靠近第一驱动电机一端的外侧套设有第一皮带轮，所述连接板中间位置处两端的两侧转动设有第一转轴和第二转轴，所述连接板远离第四转轴的一侧设有第三转轴，所述第一转轴靠近第一驱动电机的外侧套设有第二皮带轮和第六皮带轮，所述第二转轴靠近第一驱动电机的外侧套设有第三皮带轮和第四皮带轮，所述第三转轴靠近第一驱动电机的外侧套设有第五皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮的外侧套设有第一皮带，所述第三皮带轮和第六皮带轮的外侧套设有第二皮带，所述第四皮带轮和第五皮带轮的外侧套设有第三皮带，所述第一转轴和第四转轴的外侧套设有第二传输带，所述第二转轴和第三转轴的外侧套设有第一传输带。其中，设置传输组件可以很好的运输mask，节省了大量的时间，大大增加了工作人员的工作效率。

更进一步地，所述辅助移动组件包括固定在连接板一端中间位置处的第二固定板及固定在第二固定板顶部的第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端设有第五转轴，所述第五转轴靠近第二驱动电机的外侧套设有第七皮带轮，所述连接板内部中间位置处一侧的两端转动设有第六转轴，所述第六转轴靠近第二驱动电机一端的外侧套设有第八皮带轮，所述第七皮带轮和第八皮带轮的外侧套设有第四皮带，所述第五转轴和第六转轴的外侧套设有辅助移动件。其中，设置辅助移动组件可以辅助mask位移，防止mask卡在紫外线仓的内部。