[发明专利]一种观察窗及单晶炉在审
申请号: | 202111635557.9 | 申请日: | 2021-12-29 |
公开(公告)号: | CN114277431A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 余崇江;张鹏举;李腾飞 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 刘念 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 观察窗 单晶炉 | ||
1.一种观察窗,用于具有高压内腔的炉体上,所述炉体上设可视窗口,所述可视窗口外围设有安装座;所述观察窗包括保护窗组件,所述保护窗组件包括至少两层透明镜片、及将所述至少两层透明镜片固定于所述安装座上的固定单元;其特征在于,所述至少两层透明镜片包括从所述炉体内侧向所述炉体外侧依次叠设的内侧镜片和外侧镜片,所述内侧镜片的内侧面和外侧面中至少一个侧面呈弧面状。
2.根据权利要求1所述的观察窗,其特征在于,所述内侧镜片的内侧面和外侧面均为弧面状且朝所述外侧镜片凸起。
3.根据权利要求1所述的观察窗,其特征在于,所述外侧镜片的内侧面和外侧面均为平面状。
4.根据权利要求1所述的观察窗,其特征在于,所述外侧镜片的外侧面镀膜,用于隔绝热量和/或减弱光线。
5.根据权利要求1所述的观察窗,其特征在于,所述安装座包括朝外的装配面,所述装配面围绕所述可视窗口的边缘设有支撑台阶;
所述固定单元包括:
内压板,其围绕所述内侧镜片的外周边缘设置,且所述内侧镜片的外周边缘夹持于所述内压板与所述安装座之间;及
外压板,其围绕所述外侧镜片的外周边缘设置,且所述外侧镜片的外周边缘夹持于所述内压板与所述外压板之间。
6.根据权利要求5所述的观察窗,其特征在于,
所述内压板的内侧面上设有第一沉肩,所述内侧镜片的外周边缘夹持于所述支撑台阶和所述第一沉肩之间;
所述内压板的外侧面上设第二沉肩,所述外压板的内侧面上设第三沉肩,所述外侧镜片的外周边缘夹持于所述第二沉肩与所述第三沉肩之间。
7.根据权利要求6所述的观察窗,其特征在于,
所述内侧镜片与所述支撑台阶之间夹持有第一密封圈;
所述内侧镜片与所述第一沉肩之间夹持有第二密封圈;
所述外侧镜片与所述第二沉肩之间夹持有第三密封圈;
所述外侧镜片与所述第三沉肩之间夹持有第四密封圈。
8.根据权利要求7所述的观察窗,其特征在于,
所述内侧镜片、所述第一密封圈和所述第二密封圈的叠加厚度大于所述支撑台阶与所述第一沉肩之间的间隙高度;所述外侧镜片、所述第三密封圈和所述第四密封圈的叠加厚度大于所述第二沉肩与所述第三沉肩之间的间隙高度;且所述第二密封圈的厚度大于所述第一密封圈、所述第三密封圈和所述第四密封圈的厚度。
9.根据权利要求1所述观察窗,其特征在于,
所述观察窗还包括可拆卸地连接在所述保护窗组件外的保护罩组件,所述保护罩组件包括平面镜及固定于所述平面镜外周的底板,其中所述底板可拆卸地连接至所述固定单元上。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括如权利要求1至9任一项所述的观察窗。
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