[发明专利]一种观察窗及单晶炉

说明书

本公开提供一种观察窗及单晶炉，所述观察窗包括保护窗组件，所述保护窗组件包括至少两层透明镜片、及将所述至少两层透明镜片固定于所述安装座上的固定单元；所述至少两层透明镜片包括从炉体内侧向炉体外侧依次叠设的内侧镜片和外侧镜片，所述内侧镜片的内侧面和外侧面中至少一个侧面呈弧面状。本公开实施例所提供的观察窗及单晶炉，其观察窗包括至少两层透明镜片，其中内侧镜片具有弧面，以此可加强内侧镜片的受力面积，从而将压力更加均匀地分散至位于内侧镜片边缘的固定组件上，能够提升观察窗的抗压能力，因此观察窗更不易碎裂。且通过改变弧面的弧度还可以具有更高的抗压极限。

技术领域

本发明涉及单晶生长设备技术领域，尤其涉及一种观察窗及单晶炉。

背景技术

在相关技术中，对于具有高压内腔的炉体例如单晶炉来说，其观察窗需要承受很大的压力，对观察窗的密闭性、安全及可靠性均有极高的要求。目前的观察窗多采用双层玻璃结构，内层玻璃内、外侧的温差和压差很大，极易出现内层玻璃破碎的现象。

发明内容

为了解决上述技术问题，本公开实施例提供了一种观察窗及单晶炉，能够提升观察窗的抗压性，且结构简单，更加安全可靠。

本公开实施例所提供的技术方案如下：

一种观察窗，用于具有高压内腔的炉体上，所述炉体上设可视窗口，所述可视窗口外围设有安装座；所述观察窗包括保护窗组件，所述保护窗组件包括至少两层透明镜片、及将所述至少两层透明镜片固定于所述安装座上的固定单元；所述至少两层透明镜片包括从所述炉体内侧向所述炉体外侧依次叠设的内侧镜片和外侧镜片，所述内侧镜片的内侧面和外侧面中至少一个侧面呈弧面状。

示例性的，所述内侧镜片的内侧面和外侧面均为弧面状且朝所述外侧镜片凸起。

示例性的，所述外侧镜片的内侧面和外侧面均为平面状。

示例性的，所述外侧镜片的外侧面镀膜，用于隔绝热量和/或减弱光线。

示例性的，所述安装座包括朝外的装配面，所述装配面围绕所述可视窗口的边缘设有支撑台阶；

所述固定单元包括：

内压板，其围绕所述内侧镜片的外周边缘设置，且所述内侧镜片的外周边缘夹持于所述内压板与所述安装座之间；及

外压板，其围绕所述外侧镜片的外周边缘设置，且所述外侧镜片的外周边缘夹持于所述内压板与所述外压板之间。

示例性的，所述内压板的内侧面上设有第一沉肩，所述内侧镜片的外周边缘夹持于所述支撑台阶和所述第一沉肩之间；

所述内压板的外侧面上设第二沉肩，所述外压板的内侧面上设第三沉肩，所述外侧镜片的外周边缘夹持于所述第二沉肩与所述第三沉肩之间。

示例性的，所述内侧镜片与所述支撑台阶之间夹持有第一密封圈；

所述内侧镜片与所述第一沉肩之间夹持有第二密封圈；

所述外侧镜片与所述第二沉肩之间夹持有第三密封圈；

所述外侧镜片与所述第三沉肩之间夹持有第四密封圈。

示例性的，所述内侧镜片、所述第一密封圈和所述第二密封圈的叠加厚度大于所述支撑台阶与所述第一沉肩之间的间隙高度；所述外侧镜片、所述第三密封圈和所述第四密封圈的叠加厚度大于所述第二沉肩与所述第三沉肩之间的间隙高度；且所述第二密封圈的厚度大于所述第一密封圈、所述第三密封圈和所述第四密封圈的厚度。

示例性的，所述观察窗还包括可拆卸地连接在所述保护窗组件外的保护罩组件，所述保护罩组件包括平面镜及固定于所述平面镜外周的底板，其中所述底板可拆卸地连接至所述固定单元上。

一种单晶炉，包括如上所述的观察窗。