[发明专利]一种数据管理系统及管理方法在审

专利信息
申请号: 202111678016.4 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN116414780A 公开(公告)日: 2023-07-11
发明(设计)人: 田育帅;范光瑛;张晴;王贺;高雪清 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G06F16/16 分类号: G06F16/16;G06F16/14;G06Q50/04
代理公司: 北京市一法律师事务所 11654 代理人: 刘荣娟
地址: 300385*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 数据管理 系统 管理 方法
【权利要求书】:

1.一种数据管理系统,其特征在于,包括:

存储器,用于存储从生产机台端获取的工艺配方文件;

设备自动控制单元,所述设备自动控制单元工作时执行以下步骤:

从至少一个生产机台端获取所述生产机台端的工艺配方文件;

为每一个所述工艺配方文件设置用于识别所述工艺配方文件的第一识别标记;

将每一个所述工艺配方文件分解为若干步骤级数据单元,并为所述若干步骤级数据单元设置用于识别所述若干步骤级数据单元的第二识别标记,其中,所述第一识别标记和所述第二识别标记共同用于识别所述步骤级数据单元;

将每一个所述步骤级数据单元分解为若干工艺配方参数,并为所述若干工艺配方参数设置用于识别所述若干工艺配方参数的第三识别标记,其中,所述第一识别标记、所述第二识别标记和所述第三识别标记共同用于识别所述工艺配方参数。

2.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述设备自动控制单元工作时还:为所述工艺配方文件建立文件级属性信息,所述文件级属性信息包括可编辑属性和不可编辑属性,其中,所述可编辑属性包括状态和适用范围,所述不可编辑属性包括名称、所属生产机台、当前版本和更新时间。

3.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述设备自动控制单元工作时还:为所述步骤级数据单元建立步骤级属性信息,所述步骤级属性信息包括位置信息和类型信息。

4.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述设备自动控制单元工作时还:为所述工艺配方参数建立参数属性信息,所述参数属性信息包括位置信息和可识别信息。

5.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述第一识别标记包括所述生产机台端的信息;所述第二识别标记包括所述步骤级数据单元的步骤信息;所述第三识别标记包括所述工艺配方参数的名称。

6.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述设备自动控制单元还包括:自动识别模型,通过人工智能深度学习建立,所述自动识别模型用于识别所述工艺配方参数所属的步骤级数据单元以及识别所述步骤级数据单元所属的工艺配方文件。

7.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述工艺配方文件为文件夹,所述步骤级数据单元为所述文件夹打开后的子文件夹,所述工艺配方参数位于所述子文件夹中。

8.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述工艺配方文件为超链接,所述步骤级数据单元为所述超链接展开后的子超链接,所述工艺配方参数位于所述子超链接中。

9.如权利要求1所述的数据管理系统,其特征在于,所述工艺配方文件为表格,所述步骤级数据单元为所述表格的子表格,所述工艺配方参数位于所述子表格中。

10.一种数据管理方法,其特征在于,包括:通过设备自动控制单元执行以下步骤:

从至少一个生产机台端获取所述生产机台端的工艺配方文件;

为每一个所述工艺配方文件设置用于识别所述工艺配方文件的第一识别标记;

将每一个所述工艺配方文件分解为若干步骤级数据单元,并为所述若干步骤级数据单元设置用于识别所述若干步骤级数据单元的第二识别标记,其中,所述第一识别标记和所述第二识别标记共同用于识别所述步骤级数据单元;

将每一个所述步骤级数据单元分解为若干工艺配方参数,并为所述若干工艺配方参数设置用于识别所述若干工艺配方参数的第三识别标记,其中,所述第一识别标记、所述第二识别标记和所述第三识别标记共同用于识别所述工艺配方参数。

11.如权利要求10所述的数据管理方法,其特征在于,还包括:为所述工艺配方文件建立文件级属性信息,所述文件级属性信息包括可编辑属性和不可编辑属性,其中,所述可编辑属性包括状态和适用范围,所述不可编辑属性包括名称、所属生产机台、当前版本和更新时间。

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