[发明专利]一种数据管理系统及管理方法

说明书

本申请提供一种数据管理系统及管理方法，所述方法包括：从至少一个生产机台端获取所述生产机台端的工艺配方文件；为每一个所述工艺配方文件设置用于识别所述工艺配方文件的第一识别标记；将每一个所述工艺配方文件分解为若干步骤级数据单元，并为所述若干步骤级数据单元设置用于识别所述若干步骤级数据单元的第二识别标记；将每一个所述步骤级数据单元分解为若干工艺配方参数，并为所述若干工艺配方参数设置用于识别所述若干工艺配方参数的第三识别标记。本申请提供一种数据管理系统及管理方法，可以兼顾文件级操作和参数级操作，实现对工艺配方文件中所有工艺配方参数的精确管理。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种数据管理系统及管理方法。

背景技术

工艺配方参数是工艺配方文件内部包含的参数，是生产过程最关键的配置信息。加强对工艺配方参数的管理，是保证生产质量的不二法门。对工艺配方参数的管理需求主要包括：文件级别操作，要求文件内容完整无冗余、内部参数顺序正确，需要能够查看、调用、传输、状态管理、版本管理，需要保证文件的整体性，内容不可删减、遗漏，内部参数的设定值、顺序对生产质量有直接影响，需要能够对比多个文件；参数级别操作，要求跨越文件的横向操作、跨越版本的纵向操作，能够查看工艺配方的具体设定值，能够变更历史纪录的回溯，归纳对产出质量的影响，能够按用途将工艺配方分组，归纳管理不同工艺配方中的参数设置，参数级信息是大数据类功能得以实现的基础。

目前的工艺配方参数管理功能仅支持文件级别操作，参数级操作需单独逐个文件单独访问，统筹、归纳类的管理工作更是需要大量的手动工作才能实现归纳工作。

因此，有必要提供更有效、更可靠的技术方案。

发明内容

本申请提供一种数据管理系统及管理方法，可以兼顾文件级操作和参数级操作，实现对工艺配方文件中所有工艺配方参数的精确管理。

本申请的一个方面提供一种数据管理系统，包括：存储器，用于存储从生产机台端获取的工艺配方文件；设备自动控制单元，所述设备自动控制单元工作时执行以下步骤：从至少一个生产机台端获取所述生产机台端的工艺配方文件；为每一个所述工艺配方文件设置用于识别所述工艺配方文件的第一识别标记；将每一个所述工艺配方文件分解为若干步骤级数据单元，并为所述若干步骤级数据单元设置用于识别所述若干步骤级数据单元的第二识别标记，其中，所述第一识别标记和所述第二识别标记共同用于识别所述步骤级数据单元；将每一个所述步骤级数据单元分解为若干工艺配方参数，并为所述若干工艺配方参数设置用于识别所述若干工艺配方参数的第三识别标记，其中，所述第一识别标记、所述第二识别标记和所述第三识别标记共同用于识别所述工艺配方参数。

在本申请的一些实施例中，所述设备自动控制单元工作时还：为所述工艺配方文件建立文件级属性信息，所述文件级属性信息包括可编辑属性和不可编辑属性，其中，所述可编辑属性包括状态和适用范围，所述不可编辑属性包括名称、所属生产机台、当前版本和更新时间。

在本申请的一些实施例中，所述设备自动控制单元工作时还：为所述步骤级数据单元建立步骤级属性信息，所述步骤级属性信息包括位置信息和类型信息。

在本申请的一些实施例中，所述设备自动控制单元工作时还：为所述工艺配方参数建立参数属性信息，所述参数属性信息包括位置信息和可识别信息。

在本申请的一些实施例中，所述第一识别标记包括所述生产机台端的信息；所述第二识别标记包括所述步骤级数据单元的步骤信息；所述第三识别标记包括所述工艺配方参数的名称。

在本申请的一些实施例中，所述设备自动控制单元还包括：自动识别模型，通过人工智能深度学习建立，所述自动识别模型用于识别所述工艺配方参数所属的步骤级数据单元以及识别所述步骤级数据单元所属的工艺配方文件。

在本申请的一些实施例中，所述工艺配方文件为文件夹，所述步骤级数据单元为所述文件夹打开后的子文件夹，所述工艺配方参数位于所述子文件夹中。