[实用新型]一种真空镀膜设备

权利要求书

1.一种真空镀膜设备，其特征在于：包括镀膜箱和操作屏，所述操作屏安装在镀膜箱前端上部，所述镀膜箱前端下部设置有进出门，所述镀膜箱内部装配有磁控靶、放置台和供电器，所述磁控靶安装在镀膜箱内的顶部，所述供电器连接在磁控靶底部，所述磁控靶底部的中间位置设置有对准头；所述放置台包括安装座、镀膜限位箱和镀膜板，所述安装座顶部的中心位置处设有旋转座，旋转座的顶部固定有基板，且旋转座一侧的中间位置处安装有锁紧螺栓，所述基板的顶部固定有镀膜限位箱，镀膜限位箱的上表面均匀设有通孔，且镀膜限位箱内部的底端设有两条相互平行的滑槽，所述镀膜限位箱的内部设有活动支撑板，活动支撑板底部对应滑槽的位置处设有与滑槽相匹配的滑条，且活动支撑板顶部的四个角位置处皆安装有电动升降器，电动升降器的输出端皆与镀膜板的底部固定连接，所述镀膜板上表面的中间位置处安装有红外测距传感器，且红外测距传感器两侧的镀膜板上皆均匀设有产品槽，产品槽的两侧内壁上皆设有导轨，所述产品槽内部的两端皆通过夹持弹簧固定连接有夹板，夹板的表面设有防滑垫，且夹板的两端皆设有与导轨相匹配的辅助滑块；所述镀膜箱一侧设置有放气阀，另一侧连接有第一连接管，且第一连接管的上端贯穿连接在镀膜箱的内部，所述第一连接管下部的右端连接有第二连接管，第一连接管的下端固定连接有扩散泵，且扩散泵的下端内部设置有加热丝，并且加热丝的下端电性连接有加热器，所述加热丝的右侧贯穿连接有第三连接管，且第三连接管和第二连接管的右侧均连接有第四连接管，第四连接管的右端固定连接有机械泵。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述第一连接管和第二连接管相互垂直连接，并且第二连接管和第三连接管的右端均与第四连接管相连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜箱顶部安装有气压控制器。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜箱底部固定有减震板。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述安装座的四个角位置处皆设有定位孔。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜板的一端通过螺栓安装有拉手。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜板上设置的产品槽与镀膜限位箱上设置的通孔一一对应；多个所述磁控靶安装在镀膜箱内的顶部，多个所述供电器分别对应连接在多个磁控靶底部，每个所述磁控靶底部的中间位置均设置有一个对准头；多个所述对准头分别设置于所述镀膜限位箱上设置的多个通孔上方。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述旋转座的内部设有旋转轴承。