[实用新型]一种真空镀膜设备有效
申请号: | 202120018467.4 | 申请日: | 2021-01-06 |
公开(公告)号: | CN214496470U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 闫志强 | 申请(专利权)人: | 张家口柔电表面技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/35 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 李兴林 |
地址: | 075300 河北省张家*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 设备 | ||
本实用新型公开一种真空镀膜设备,涉及真空镀膜相关技术领域;包括镀膜箱和操作屏,镀膜箱前端下部设置有进出门,镀膜箱内部装配有磁控靶、放置台和供电器,磁控靶底部设置有对准头;放置台包括安装座、镀膜限位箱和镀膜板;镀膜箱一侧设置有放气阀,另一侧连接有第一连接管,第一连接管下部的右端连接有第二连接管,第一连接管的下端固定连接有扩散泵,且扩散泵的下端内部设置有加热丝,并且加热丝的下端通过电性连接有加热器,加热丝的右侧贯穿连接有第三连接管,且第三连接管和第二连接管的右侧均连接有第四连接管,第四连接管的右端固定连接有机械泵。本实用新型提供的真空镀膜设备,使产品可以快速固定,且拆卸方便。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜相关技术领域,特别是涉及一种真空镀膜设备。
背景技术
真空镀膜机的种类多种多样,因为其采用的镀膜原理各不相同,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等,主要思路是分成蒸发和溅射两种,所以只能根据不同的产品特性选择不同类型的镀膜机,而且为了提高一些产品表面的光滑度和硬度,使其具有金属光泽,装饰性好的优点,那么常常通过真空镀膜的方式可以使硬度及耐磨性大大增加,提高耐候性,在目前的市场上应用广泛,具有十分重要的意义。
在真空镀膜的生产中,必须要将产品固定在镀膜机的支撑杆上面,固定装置不仅要起到固定住产品的作用,而且还要很方便的装上去用于镀膜、很方便的取下来。目前,对于平面产品的固定方式,通常是使用双面胶将产品固定在架子上,双面胶不仅会在产品表面残留粘性污物,而且使卸载产品变得困难,这不仅影响生产效率而且潜在的提升了产品的不良率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种真空镀膜设备,以解决上述现有技术存在的问题,使产品可以快速固定,且拆卸方便。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下方案:
本实用新型提供一种真空镀膜设备,包括镀膜箱和操作屏,所述操作屏安装在镀膜箱前端上部,所述镀膜箱前端下部设置有进出门,所述镀膜箱内部装配有磁控靶、放置台和供电器,所述磁控靶安装在镀膜箱内的顶部,所述供电器连接在磁控靶底部,所述磁控靶底部的中间位置设置有对准头;所述放置台包括安装座、镀膜限位箱和镀膜板,所述安装座顶部的中心位置处设有旋转座,旋转座的顶部固定有基板,且旋转座一侧的中间位置处安装有锁紧螺栓,所述基板的顶部固定有镀膜限位箱,镀膜限位箱的上表面均匀设有通孔,且镀膜限位箱内部的底端设有两条相互平行的滑槽,所述镀膜限位箱的内部设有活动支撑板,活动支撑板底部对应滑槽的位置处设有与滑槽相匹配的滑条,且活动支撑板顶部的四个角位置处皆安装有电动升降器,电动升降器的输出端皆与镀膜板的底部固定连接,所述镀膜板上表面的中间位置处安装有红外测距传感器,且红外测距传感器两侧的镀膜板上皆均匀设有产品槽,产品槽的两侧内壁上皆设有导轨,所述产品槽内部的两端皆通过夹持弹簧固定连接有夹板,夹板的表面设有防滑垫,且夹板的两端皆设有与导轨相匹配的辅助滑块;所述镀膜箱一侧设置有放气阀,另一侧连接有第一连接管,且第一连接管的上端贯穿连接在镀膜箱的内部,所述第一连接管下部的右端连接有第二连接管,第一连接管的下端固定连接有扩散泵,且扩散泵的下端内部设置有加热丝,并且加热丝的下端通过电性连接有加热器,所述加热丝的右侧贯穿连接有第三连接管,且第三连接管和第二连接管的右侧均连接有第四连接管,第四连接管的右端固定连接有机械泵。
可选的,所述第一连接管和第二连接管相互垂直连接,并且第二连接管和第三连接管的右端均与第四连接管相连接。
可选的,所述镀膜箱顶部安装有气压控制器。
可选的,所述镀膜箱底部固定有减震板。
可选的,所述安装座的四个角位置处皆设有定位孔。
可选的,所述镀膜板的一端通过螺栓安装有拉手。
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