[实用新型]一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，包括真空腔，所述真空腔的内部设有转动平台和加热模块，所述转动平台的上方设有旋转夹持件，所述旋转夹持件和转动平台均通过一个带传动机构连接有驱动组件，所述驱动组件和两个带传动机构均设置在传动室内，所述传动室位于真空腔的侧壁；通过设置转动平台，可在蒸发镀膜的过程中带动器件旋转，避免了进行多次镀膜，实现镀膜过程一次完成。且镀膜过程快、简化了圆柱形器件外表面的镀膜过程，可有效提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置。

背景技术

真空蒸发镀膜技术是一种由物理方法生长薄膜材料的技术。广泛地应用于光学、电子学、能源开发、建筑机械、表面科学等科学研究领域。现代器件使得对真空镀膜技术的要求也越来越高，特别是对一些特殊形状(圆柱形)的器件外表面进行镀膜需要多次进行才能完成。由于真空蒸发镀膜过程需要在真空系统中进行，在镀膜过程中难以对需镀膜的位置进行直接调整，现有的装置很难满足对圆柱形器件外表面进行蒸发镀膜的要求。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种给圆柱形器件外表面镀膜的装置，包括真空腔，所述真空腔的内部设有转动平台和加热模块，所述转动平台的上方设有旋转夹持件，所述旋转夹持件和转动平台均通过一个带传动机构连接有驱动组件，所述驱动组件和两个带传动机构均设置在传动室内，所述传动室位于真空腔的侧壁。

优选的，所述加热模块内部设有加热灯丝。

优选的，所述旋转夹持件包括旋转座、电动伸缩柱和夹爪，所述旋转座转动连接在真空腔的顶部内壁上，且所述电动伸缩柱连接旋转座和夹爪。

优选的，所述夹爪包括电动缸、连接座和两个相对设置的夹块，所述电动缸固定连接于电动伸缩柱，所述电动缸通过固定架与连接座固定连接，所述电动缸的活塞杆通过联轴器固定连接有滑杆，所述滑杆贯穿于连接座且固定连接有连接件，所述连接件的两侧均转动连接有两根连杆的一端，两侧所述连杆的另一端分别与两个夹块转动连接，所述连接座的下端还固定连接有限位滑槽，所述限位滑槽内滑动连接有两个限位滑块，两个所述限位滑块分别于两个夹块固定连接。

优选的，两个所述夹块的夹持面为内弧状，且两个所述夹块的夹持面上固定连接有防滑层。

优选的，所述驱动组件包括传动杆，所述传动杆与两个带传动机构的主动带轮固定连接，所述传动杆转动连接在传动室内，所述传动杆的一端固定连接从动锥齿轮，所述从动锥齿轮啮合连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮转动连接在传动室的内壁表面，所述主动锥齿轮连接有电机的输出轴，所述电机固定连接在传动室的外壁表面。

优选的，所述电机、电动伸缩柱和电动缸的驱动电路控制端与单片机系统连接，所述单片机系统通过串口通讯模块连接至计算机上位机系统，所述电机、电动伸缩柱和电动缸的驱动电路连接有电源，所述电源通过降压模块连接单片机系统。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1)该给圆柱形器件外表面镀膜的装置，通过设置转动平台，可在蒸发镀膜的过程中带动器件旋转，避免了进行多次镀膜，实现镀膜过程一次完成。且镀膜过程快、简化了圆柱形器件外表面的镀膜过程，可有效提高工作效率；工作时，将器件放置在转动平台表面后，关闭真空腔，并打开真空泵，对真空腔进行抽真空，等真空室的真空度降到指定的压强以下时，开启镀膜过程：启动电机，电机的输出轴带动主动锥齿轮转动，主动锥齿轮通过与从动锥齿轮的配合带动传动杆转动，传动杆通过两个带传动机构带动转动平台和旋转夹持件同步转动，然后启动加热模块，加热模块使蒸发材料蒸发，从而对器件的外表面进行均匀镀膜。