[实用新型]一种具有自动切换清洗工具功能的晶圆片清洗机构有效
申请号: | 202120254679.2 | 申请日: | 2021-01-29 |
公开(公告)号: | CN215391087U | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 余涛;朴灵绪;郭巍 | 申请(专利权)人: | 若名芯半导体科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B1/00;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 朱斌兵 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 自动 切换 清洗 工具 功能 晶圆片 机构 | ||
1.一种具有自动切换清洗工具功能的晶圆片清洗机构,包括腔体,在所述腔体内设有可转动的承载台;所述承载台的上设有用于夹持晶圆片的夹爪,其特征在于,包括:
升降机械臂,所述升降机械臂设于所述腔体内;
横移机械臂,所述横移机械臂设于所述升降机械臂上;
电磁铁,所述电磁铁设于所述横移机械臂的前端;
清洗工具,至少两个所述清洗工具分别设于所述腔体内对应的承载板上,且,所述清洗工具上具有用于电磁铁吸附的磁吸区域;
其中,所述电磁铁在所述升降机械臂和所述横移机械臂的配合下吸附任意清洗工具中的磁吸区域后,将清洗工具送至晶圆片上方对晶圆片进行清洗。
2.根据权利要求1所述的具有自动切换清洗工具功能的晶圆片清洗机构,其特征在于:所述电磁铁的通断电经由控制器控制;所述承载板上还设有用于感应电磁铁的感应传感器,且,所述感应传感器与所述控制器相连。
3.根据权利要求1所述的具有自动切换清洗工具功能的晶圆片清洗机构,其特征在于:所述承载台的外侧还设有可上下升降的防护罩。
4.根据权利要求1所述的具有自动切换清洗工具功能的晶圆片清洗机构,其特征在于:所述清洗工具的数量为三个,且三个所述清洗工具分别为刷子、喷淋头以及二流体喷淋头。
5.根据权利要求1所述的具有自动切换清洗工具功能的晶圆片清洗机构,其特征在于:所述承载板上设有用于限位清洗工具的限位槽。
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