[实用新型]一种真空泵气量测量装置

权利要求书

1.一种真空泵气量测量装置，其特征在于：包括进气管、连通管（1）、进水管（10）以及上位机，连通管（1）的输入口同时并联若干管径不同的进气管，各进气管上均设置有压力传感器（5）和进气阀（6），待检测的真空泵（9）的输入口与连通管（1）的输出口通过卡接机构可拆卸的连接，进水管（10）与真空泵（9）的进水口相连通，进水管（10）上设置有蝶阀（12）以及流量传感器（11），蝶阀（12）连接有带动其打开或关闭的动力装置，流量传感器（11）和压力传感器（5）均与上位机的信号输入端相连，上位机与动力装置的信号输出端相连。

2.根据权利要求1所述的真空泵气量测量装置，其特征在于：所述的动力装置为伺服电机。

3.根据权利要求1所述的真空泵气量测量装置，其特征在于：所述的动力装置为电机，电机通过传动机构与蝶阀（12）相连。

4.根据权利要求3所述的真空泵气量测量装置，其特征在于：所述的传动机构包括被动齿轮（13）以及主动轮（14），被动齿轮（13）与蝶阀（12）的阀芯相连，并带动其同步转动，主动轮（14）上设置有与被动齿轮（13）啮合的拨齿（15），拨齿（15）有且只有一个。

5.根据权利要求1所述的真空泵气量测量装置，其特征在于：所示的卡接机构包括管道法兰盘（16）、泵体法兰盘（17）以及四连杆机构，四连杆机构安装在管道法兰盘（16）上，四连杆机构的压紧部设置在泵体法兰盘（17）远离管道法兰盘（16）的一侧，并压紧泵体法兰盘（17）。

6.根据权利要求5所述的真空泵气量测量装置，其特征在于：所述的四连杆机构包括安装杆（18）、连杆（19）、压紧杆（20）以及操纵杆（21），安装杆（18）一端安装在管道法兰盘（16）上，操纵杆（21）间隔设置在安装杆（18）靠近泵体法兰盘（17）的一侧，连杆（19）和压紧杆（20）设置在安装杆（18）和操纵杆（21）之间，压紧杆（20）设置在连杆（19）和管道法兰盘（16）之间，连杆（19）的两端分别与安装杆（18）和操纵杆（21）铰接，压紧杆（20）的一端与安装杆（18）铰接，中部与操纵杆（21）铰接，压紧杆（20）的端部向靠近泵体法兰盘（17）的方向弯折，形成所述压紧部。

7.根据权利要求1所述的真空泵气量测量装置，其特征在于：还包括出气管（7），出气管（7）的输入口与连通管（1）相连，输出口通过卡接机构与待检测的真空泵（9）的输入口相连，出气管（7）并联设置有若干根，各出气管（7）上均设置有出气阀（8）。