[实用新型]一种流水线用晶圆翻转打包装置

权利要求书

1.一种流水线用晶圆翻转打包装置，包括晶圆传送带(1)、真空吸笔设备支撑柱(2)、包装传送带(6)和旋转设备装配柱(8)，晶圆传送带(1)和包装传送带(6)分别布置于真空吸笔设备支撑柱(2)，旋转设备装配柱(8)设置于包装传送带(6)的出料端，其特征在于：所述真空吸笔设备支撑柱(2)的上端转动安装有导轨(3)，所述导轨(3)内装配有轨道车(4)，所述轨道车(4)的下侧装配有真空吸笔(5)，所述包装传送带(6)的上侧固定安装有储物架(7)，所述旋转设备装配柱(8)的末端装配有转动座(9)，所述转动座(9)的下端固定安装有盒盖夹具(10)。

2.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述轨道车(4)下侧壁的外围均匀装配有液压柱(12)，所述液压柱(12)的下端装配有角铁(13)，所述角铁(13)的侧壁均匀嵌入有滚轮(14)，且角铁(13)的下表面贴合于导轨(3)内壁的底面，所述滚轮(14)的外壁紧密贴合于导轨(3)的内侧壁。

3.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述轨道车(4)下壁的中部固定安装有转动基座(11)，所述转动基座(11)的下侧固定安装有转动轴(15)，所述真空吸笔(5)装配于转动轴(15)的下端。

4.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述储物架(7)和盒盖夹具(10)的动力均由外部液压设备提供。

5.根据权利要求2所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述角铁(13)的下表面均匀嵌入有辊轴(16)。

6.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述真空吸笔设备支撑柱(2)与导轨(3)的连接处设置有旋转轴(17)。