[实用新型]一种流水线用晶圆翻转打包装置

说明书

本实用新型公开了一种流水线用晶圆翻转打包装置，包括晶圆传送带、真空吸笔设备支撑柱、包装传送带和旋转设备装配柱，晶圆传送带和包装传送带分别布置于真空吸笔设备支撑柱，旋转设备装配柱设置于包装传送带的出料端，导轨内装配有轨道车，打开真空吸附基片，旋转轴旋转180°的同时，包装盒底底部固定块转动，然后从储物架上落下，基片背面向上倒扣在包装盒底内，然后包装盒底在包装传送带上运动，运动到下一个储物架位置处停止，同上，压花落在基片背面起固定作用，包装传送带继续向前运动至下一储物架，包装盒盖落下，包装传送带继续向前，转动座带动盒盖夹具将包装盒底和盖拧紧，完成打包。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种流水线用晶圆翻转打包装置。

背景技术

纳米压印是一种用于工程与技术科学基础学科领域的工艺试验仪器，微纳米尺度图形结构的快速复制和转移；具有高分辨率、高产量、低成本的优点；可轻易制作3D立体结构之微影刻蚀技术；高分子材料直接压印成形，避免长时间或大范围之刻蚀步骤。随着纳米压印技术的成熟与普及，纳米压印设备也由最初的手动操作变得越来越自动化，但上片与取片仍主要依靠人工，打包压印产品比较耗时。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种流水线用晶圆翻转打包装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种流水线用晶圆翻转打包装置，包括晶圆传送带、真空吸笔设备支撑柱、包装传送带和旋转设备装配柱，晶圆传送带和包装传送带分别布置于真空吸笔设备支撑柱，旋转设备装配柱设置于包装传送带的出料端，所述真空吸笔设备支撑柱的上端转动安装有导轨，所述导轨内装配有轨道车，所述轨道车的下侧装配有真空吸笔，所述包装传送带的上侧固定安装有储物架，所述旋转设备装配柱的末端装配有转动座，所述转动座的下端固定安装有盒盖夹具。

优选的，所述轨道车下侧壁的外围均匀装配有液压柱，所述液压柱的下端装配有角铁，所述角铁的侧壁均匀嵌入有滚轮，且角铁的下表面贴合于导轨内壁的底面，所述滚轮的外壁紧密贴合于导轨的内侧壁。

优选的，所述轨道车下壁的中部固定安装有转动基座，所述转动基座的下侧固定安装有转动轴，所述真空吸笔装配于转动轴的下端。

优选的，所述储物架和盒盖夹具的动力均由外部液压设备提供。

优选的，所述角铁的下表面均匀嵌入有辊轴。

优选的，所述真空吸笔设备支撑柱与导轨的连接处设置有旋转轴。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种流水线用晶圆翻转打包装置，当纳米压印设备压印完成，真空吸盘断真空，PIN针顶起基片，将基片转运至晶圆传送带表面，真空吸笔通过导轨向前运动至基片底部，打开真空吸附基片，旋转轴旋转180°的同时，包装盒底底部固定块转动，然后从储物架上落下，基片背面向上倒扣在包装盒底内，然后包装盒底在包装传送带上运动，运动到下一个储物架位置处停止，同上所述，压花落在基片背面起固定作用，包装传送带继续向前运动至下一储物架，包装盒盖落下，包装传送带继续向前，转动座带动盒盖夹具将包装盒底和盖拧紧，完成打包。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的真空吸笔结构示意图；

图3为本实用新型真空吸笔的仰视结构示意图。

图中：1晶圆传送带、2真空吸笔设备支撑柱、3导轨、4轨道车、5真空吸笔、6包装传送带、7储物架、8旋转设备装配柱、9转动座、10盒盖夹具、11转动基座、12液压柱、13角铁、14滚轮、15转动轴、16辊轴。

具体实施方式