[实用新型]一种钨钛合金靶材组件的焊接工装有效
申请号: | 202120399855.1 | 申请日: | 2021-02-22 |
公开(公告)号: | CN214921358U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;杨广 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K20/16 | 分类号: | B23K20/16;B23K20/26;B23K37/04 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钛合金 组件 焊接 工装 | ||
1.一种钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述钨钛合金靶材的焊接工装包括:依次设置的背板、铝中间层、钨钛合金靶材和盖板;
所述背板的表面设置有第一凹槽;
所述盖板的表面设置有与所述第一凹槽相配合的凸部;
所述凸部的平台处设置有第二凹槽,所述凸部的最小直径等于所述第二凹槽的直径;
所述第二凹槽内设置有钨钛合金靶材,所述第二凹槽的深度等于所述钨钛合金靶材的厚度;
所述第一凹槽包括依次设置的渐缩结构和圆柱结构;
所述渐缩结构的斜面与第一凹槽底面法线的夹角为45-60°;
所述渐缩结构的深度大于所述圆柱结构的深度;
所述第一凹槽的圆柱结构内设置有铝中间层;
所述圆柱结构的深度≤所述铝中间层的厚度;
所述圆柱结构的直径等于所述第二凹槽的直径;
所述铝中间层与钨钛合金靶材相接触的一面设置有螺纹;
所述第一凹槽和凸部的配合间隙为0.4-1mm;
所述铝中间层的侧面和所述圆柱结构的侧面之间的配合间隙为0.4-0.8mm;
所述钨钛合金靶材的侧面和所述第二凹槽侧面之间的配合间隙为0.5-0.9mm;
所述背板和钨钛合金靶材的焊接面均设置有钛膜。
2.如权利要求1所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述背板的焊接面设置有厚度为3-6μm的钛膜。
3.如权利要求1或2所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述钨钛合金靶材的焊接面设置有厚度为4-5μm的钛膜。
4.如权利要求1所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述第一凹槽和凸部的配合间隙为0.5-0.6mm。
5.如权利要求1或4所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述铝中间层的厚度为3-5mm。
6.如权利要求1所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述钨钛合金靶材的厚度为5-7mm。
7.如权利要求1或6所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述渐缩结构的斜面与第一凹槽底面法线的夹角为45°。
8.如权利要求1所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述圆柱结构的深度等于所述铝中间层的厚度。
9.如权利要求1或8所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述螺纹的间距为0.7-0.8mm。
10.如权利要求1所述的钨钛合金靶材组件的焊接工装,其特征在于,所述螺纹的深度为0.6-0.7mm。
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